SU-8光刻胶超声时效的实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第9-10页 |
| ·光刻工艺中SU-8胶的内应力问题 | 第10-11页 |
| ·超声时效消除残余应力的研究概况 | 第11-14页 |
| ·超声时效在金属去应力方面的应用 | 第12-13页 |
| ·超声时效在聚合物改性方面的研究 | 第13-14页 |
| ·课题的研究内容 | 第14-15页 |
| 2 超声时效机理 | 第15-21页 |
| ·SU-8胶残余应力产生的原因 | 第15-17页 |
| ·超声振动应用机理 | 第17-18页 |
| ·聚合物结构原理与力学特性 | 第18-19页 |
| ·超声时效消除SU-8胶残余应力的机理 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 应力的测量与计算 | 第21-33页 |
| ·薄膜应力测量方法 | 第21-22页 |
| ·聚合物SU-8胶应力测量方法 | 第22-25页 |
| ·轮廓法测量误差修正 | 第25-28页 |
| ·应力误差修正实验 | 第28-32页 |
| ·实验过程 | 第28-29页 |
| ·数据分析处理 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 超声时效装置的搭建 | 第33-44页 |
| ·超声时效装置的组成 | 第33-38页 |
| ·超声波发生器 | 第33-34页 |
| ·超声波换能器 | 第34-35页 |
| ·超声波变幅杆 | 第35-36页 |
| ·工作台设计 | 第36-38页 |
| ·聚合物SU-8胶超声时效频率选择仿真分析 | 第38-42页 |
| ·ANSYS软件简介 | 第38-39页 |
| ·实体造型与网格划分 | 第39-40页 |
| ·模态分析 | 第40-42页 |
| ·超声时效装置频率的选择 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 5 SU-8胶超声时效的实验研究 | 第44-55页 |
| ·SU-8胶超声时效的实验 | 第44-46页 |
| ·实验材料与设备 | 第44-45页 |
| ·实验步骤 | 第45-46页 |
| ·实验结果分析 | 第46-54页 |
| ·实验结果 | 第46-50页 |
| ·结果分析与讨论 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
