精密工件台运动参数校准方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·课题概述 | 第8页 |
| ·光刻机工件台的国内外发展现状 | 第8-10页 |
| ·本文的主要内容 | 第10-11页 |
| 2 工件台技术基础 | 第11-18页 |
| ·工件台的功能 | 第11-12页 |
| ·工件台结构 | 第12-14页 |
| ·工件台驱动技术 | 第14-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 工件台控制和测校 | 第18-26页 |
| ·工件台控制技术 | 第18-21页 |
| ·工件台位置检测技术 | 第21-25页 |
| ·工件台水平向测校内容 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 4 工件台短程平面电机校准 | 第26-42页 |
| ·校准参数 | 第26页 |
| ·电机常数校准 | 第26-36页 |
| ·增益平衡矩阵校准 | 第36-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 工件台长程直线电机校准 | 第42-55页 |
| ·校准参数 | 第42页 |
| ·电机常数校准 | 第42-45页 |
| ·推力波动 | 第45-48页 |
| ·推力波动抑制 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 实验验证 | 第55-59页 |
| ·测试项目 | 第55页 |
| ·测试结果 | 第55-59页 |
| 7 总结和展望 | 第59-61页 |
| ·全文总结 | 第59页 |
| ·工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
