| 提要 | 第1-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·压电精密驱动机构的国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·直动式压电精密驱动机构 | 第10-12页 |
| ·步进式压电精密驱动机构 | 第12-13页 |
| ·惯性冲击式压电精密驱动机构 | 第13-14页 |
| ·压电驱动器的应用领域 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-19页 |
| 第2章 压电叠堆动态特性分析 | 第19-33页 |
| ·压电效应与压电材料 | 第19-21页 |
| ·压电效应 | 第19-20页 |
| ·压电材料 | 第20页 |
| ·压电方程 | 第20-21页 |
| ·压电叠堆的性能参数与技术特性 | 第21-24页 |
| ·压电叠堆AE0505D16 的性能参数 | 第22-23页 |
| ·压电叠堆AE0505D16 技术特性 | 第23-24页 |
| ·压电叠堆理论特性分析 | 第24-31页 |
| ·建立压电叠堆动力学模型 | 第24-25页 |
| ·压电叠堆等效电路分析 | 第25-28页 |
| ·压电叠堆在正弦信号作用下的位移响应 | 第28-29页 |
| ·压电叠堆基本性能仿真分析 | 第29-30页 |
| ·压电叠堆位移响应测试 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 二维惯性压电驱动机构的结构设计及动力学分析 | 第33-47页 |
| ·改变正压力惯性驱动机构的运动原理 | 第33-34页 |
| ·二维惯性压电驱动机构结构的提出 | 第34-35页 |
| ·二维惯性压电驱动机构的结构组成 | 第34页 |
| ·二维惯性压电驱动机构运动原理 | 第34-35页 |
| ·建立压电驱动机构动力学模型 | 第35-40页 |
| ·压电驱动机构平移运动动力学模型 | 第35-36页 |
| ·压电驱动机构旋转运动动力学模型 | 第36-38页 |
| ·压电驱动机构摩擦模型 | 第38-40页 |
| ·压电驱动机构动力学仿真模型 | 第40-44页 |
| ·建立状态空间表达式 | 第40-43页 |
| ·动力学仿真模型 | 第43-44页 |
| ·压电驱动机构动力学仿真分析 | 第44-46页 |
| ·压电驱动机构位移响应 | 第44-45页 |
| ·压电驱动机构运动步长、速度与电压的关系 | 第45页 |
| ·压电驱动机构步长与正压力关系 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 二维惯性压电驱动机构的研制及试验分析研究 | 第47-57页 |
| ·二维惯性压电惯性驱动机构的结构参数 | 第47-48页 |
| ·二维惯性压电驱动机构主体结构参数 | 第47页 |
| ·可调角度斜面支承结构的设计 | 第47-48页 |
| ·压电惯性驱动机构的运动性能测试研究 | 第48-53页 |
| ·压电驱动机构测试系统的组成及测试方法 | 第48-49页 |
| ·压电驱动机构平移运动的性能测试 | 第49-51页 |
| ·压电驱动机构旋转运动的性能测试 | 第51-53页 |
| ·平移运动性能测试问题研究 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 二维惯性压电驱动机构的闭环控制系统 | 第57-69页 |
| ·闭环控制系统的组成及原理 | 第57-58页 |
| ·闭环控制系统的组成 | 第57-58页 |
| ·闭环控制系统的工作原理 | 第58页 |
| ·闭环控制系统的研究 | 第58-65页 |
| ·定位停止闭环控制系统程序算法 | 第58-60页 |
| ·模糊PID 控制原理 | 第60-61页 |
| ·模糊PID 控制器的设计 | 第61-65页 |
| ·基于LABVIEW 的闭环控制系统的编译 | 第65-68页 |
| ·数据采集程序的编译 | 第65页 |
| ·模糊PID 控制器的LabVIEW 编译 | 第65-67页 |
| ·定位停止闭环控制系统编译 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 结论与展望 | 第69-71页 |
| ·论文总结 | 第69页 |
| ·研究展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 附录 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 摘要 | 第82-84页 |
| ABSTRACT | 第84-85页 |