微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·选题意义及背景 | 第8-9页 |
| ·国内外基本研究概况 | 第9-11页 |
| ·国外研究概况 | 第9-10页 |
| ·国内研究概况 | 第10-11页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2 微纳深沟槽测量理论与方法研究 | 第13-18页 |
| ·测量原理 | 第13-14页 |
| ·中红外光测量原因分析 | 第14-15页 |
| ·等效介质理论建模 | 第15-16页 |
| ·沟槽特征尺寸求解 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 深沟槽光学反射特性建模 | 第18-30页 |
| ·深沟槽的反射率计算 | 第18-22页 |
| ·菲涅耳公式 | 第18-19页 |
| ·单层介质反射率计算 | 第19-21页 |
| ·多层介质反射率计算 | 第21-22页 |
| ·严格耦合波理论 | 第22-25页 |
| ·TE 波的严格耦合波 | 第22-25页 |
| ·TM 波的严格耦合波 | 第25页 |
| ·等效介质理论与严格耦合波的比较 | 第25-26页 |
| ·修正等效介质理论 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4 深沟槽参数提取算法研究 | 第30-37页 |
| ·模拟退火算法 | 第30-33页 |
| ·模拟退火算法的原理 | 第30-31页 |
| ·模拟退火算法在沟槽参数提取中的应用 | 第31-33页 |
| ·LM 算法 | 第33-35页 |
| ·LM 算法原理 | 第34-35页 |
| ·LM 算法计算步骤 | 第35页 |
| ·本章小节 | 第35-37页 |
| 5 仿真分析与实验研究 | 第37-47页 |
| ·斜壁深沟槽红外反射谱仿真 | 第37-40页 |
| ·斜壁深沟槽反射谱与深度变化关系 | 第37-38页 |
| ·斜壁深沟槽反射谱与顶部特征宽度的变化关系 | 第38-39页 |
| ·斜壁深沟槽反射谱与底部特征宽度的变化关系 | 第39页 |
| ·斜壁深沟槽反射谱与底部不平性的变化关系 | 第39-40页 |
| ·斜壁深沟槽小结 | 第40页 |
| ·瓶状深沟槽红外反射谱仿真 | 第40-44页 |
| ·瓶状深沟槽反射谱与瓶身深度的变化关系 | 第41-42页 |
| ·瓶状深沟槽反射谱与瓶颈深度的变化关系 | 第42页 |
| ·瓶状深沟槽反射谱与瓶颈宽度的变化关系 | 第42-43页 |
| ·瓶状深沟槽反射谱与瓶身宽度的变化关系 | 第43-44页 |
| ·瓶状深沟槽小结 | 第44页 |
| ·实验研究 | 第44-46页 |
| ·实验系统介绍 | 第44-45页 |
| ·实验结果与分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 6 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·全文总结 | 第47页 |
| ·展望 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第54-55页 |
| 附录2 攻读学位期间申请专利目录 | 第55页 |
