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MEMS技术的磁流体陀螺仪关键技术的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-33页
   ·MEMS 概述第8-12页
   ·陀螺仪的基本工作原理第12-26页
   ·国内外研究情况及目前陀螺仪的市场动态第26-29页
   ·课题的研究背景和意义第29-31页
   ·研究的内容及论文的安排第31-33页
2 磁流体陀螺仪设计与研究第33-43页
   ·磁流体陀螺仪的设计目标第33-34页
   ·磁流体力学第34-35页
   ·磁流体陀螺仪的基本工作原理与基本设计思想第35-37页
   ·影响磁流体相对运动的因数以及磁场方向的选定第37-39页
   ·通道内流体的速度状态以及模拟结果第39-41页
   ·结构设计第41-42页
   ·本章小结第42-43页
3 陀螺仪测试平台的设计与制造第43-52页
   ·陀螺仪测试台设计目标第43页
   ·系统性能要求第43页
   ·主要元器件的选择第43-45页
   ·系统方案第45-46页
   ·测试平台的机械设计方案第46-48页
   ·输入模块实现第48-50页
   ·信号检测第50-51页
   ·本章小结第51-52页
4 全文总结与展望第52-54页
   ·总结第52页
   ·展望第52-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-57页

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