柔性电热微夹钳的关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·微夹钳的研究现状 | 第9-13页 |
| ·微夹钳的设计方法 | 第9-11页 |
| ·微夹钳的加工技术 | 第11-13页 |
| ·UV-LIGA技术的研究现状 | 第13-15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-16页 |
| 2 柔性电热微夹钳的优化设计 | 第16-32页 |
| ·柔性铰链的尺寸优化 | 第16-18页 |
| ·微夹钳的结构设计 | 第18-22页 |
| ·采用双色缩图法进行机构类型综合 | 第19-20页 |
| ·微夹钳结构形式的确定 | 第20-22页 |
| ·微夹钳的尺寸优化 | 第22-31页 |
| ·ANSYS优化设计的基本步骤 | 第22-24页 |
| ·561型微夹钳尺寸优化实例 | 第24-29页 |
| ·562型和6301型微夹钳优化结果 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 UV-LIGA技术制作柔性电热微夹钳 | 第32-49页 |
| ·掩膜版的设计 | 第32-33页 |
| ·微夹钳胶模的光刻工艺研究 | 第33-42页 |
| ·光刻工艺流程分析 | 第33-36页 |
| ·光刻工艺参数的优化 | 第36-40页 |
| ·光刻实验结果及问题讨论 | 第40-42页 |
| ·微电铸工艺制作钳体结构 | 第42-48页 |
| ·电铸液的组成成分 | 第42-44页 |
| ·电铸机的工作条件 | 第44-47页 |
| ·微电铸实验 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 基于柔性电热微夹钳的微操作系统 | 第49-58页 |
| ·封装技术研究 | 第49-52页 |
| ·封装技术背景 | 第49-50页 |
| ·微夹钳的封装 | 第50-52页 |
| ·电源及控制系统设计 | 第52-54页 |
| ·微操作系统的搭建 | 第54-57页 |
| ·微操作实验 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录A 掩膜版CAD图 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
