MEMS光开关的建模与仿真
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·本文的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 MEMS 光开关的工作原理、结构 | 第13-23页 |
| ·MEMS 光开关 | 第13-15页 |
| ·光路遮挡型MEMS 光开关 | 第14页 |
| ·移动光纤对接型MEMS 光开关 | 第14页 |
| ·微镜反射型MEMS 光开关 | 第14-15页 |
| ·MEMS 光开关的静电驱动技术 | 第15-18页 |
| ·悬臂梁驱动 | 第15-16页 |
| ·扭臂驱动 | 第16页 |
| ·梳齿驱动 | 第16-18页 |
| ·梳齿光开关基本结构与工作原理 | 第18-23页 |
| ·基本结构 | 第18-19页 |
| ·工作原理 | 第19-23页 |
| 第三章 梳齿光开关的建模 | 第23-31页 |
| ·拉格朗日-麦克斯韦方程 | 第23-28页 |
| ·电路方程式 | 第23-25页 |
| ·有质动力 | 第25-26页 |
| ·拉格朗日-麦克斯韦方程 | 第26-28页 |
| ·静电驱动力 | 第28页 |
| ·建立梳齿光开关机电动力学模型 | 第28-31页 |
| 第四章 梳齿光开关运动模拟及结果分析 | 第31-47页 |
| ·系统参数的确定 | 第31-35页 |
| ·系统势能确定 | 第31-32页 |
| ·系统电能确定 | 第32-34页 |
| ·阻尼系数确定 | 第34-35页 |
| ·运动模拟及结果分析 | 第35-47页 |
| ·平板电容边缘效应对系统的影响 | 第37-39页 |
| ·驱动电压分析 | 第39-41页 |
| ·固端梁参数分析 | 第41-44页 |
| ·阻尼分析 | 第44-47页 |
| 第五章 梳齿光开关结构参数优化 | 第47-57页 |
| ·梳齿光开关结构参数优化设计 | 第47-49页 |
| ·目标函数 | 第48页 |
| ·约束条件 | 第48-49页 |
| ·遗传算法 | 第49-53页 |
| ·遗传算法基本思想 | 第50-51页 |
| ·遗传工具箱的基本M 文件 | 第51-53页 |
| ·优化结果 | 第53-55页 |
| ·结果分析 | 第55-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·工作总结 | 第57页 |
| ·工作展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 作者在读期间的研究成果 | 第64-65页 |
