| 论文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·研究背景 | 第11-18页 |
| ·微纳机电系统 | 第11-14页 |
| ·微纳机械系统中的粘附效应 | 第14-17页 |
| ·量子效应的影响 | 第17-18页 |
| ·本文研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 Casimir效应 | 第19-27页 |
| ·真空零点能与Casimir效应 | 第19-21页 |
| ·真空理想平行金属板之间的Casimir力 | 第21-23页 |
| ·Casimir力的测量和应用 | 第23-27页 |
| 第三章 Casimir效应对微纳器件稳定性的影响 | 第27-48页 |
| ·理想情况下对于微纳器件稳定性的分析 | 第27-34页 |
| ·Casimir力的各项修正 | 第34-42页 |
| ·导电性修正 | 第34-37页 |
| ·表面粗糙程度的修正 | 第37-39页 |
| ·环境温度的修正 | 第39-42页 |
| ·材料特性对器件稳定性的影响 | 第42-48页 |
| ·材料导电性的影响 | 第42-43页 |
| ·表面粗糙程度的影响 | 第43-46页 |
| ·环境温度的影响 | 第46-48页 |
| 第四章 pull-in parameters的计算 | 第48-55页 |
| ·微纳机械开关中的临界参数(pull-in parameters) | 第48-49页 |
| ·pull-in gap | 第49-50页 |
| ·pull-in voltage | 第50-55页 |
| 第五章 声场Casimir效应 | 第55-61页 |
| ·声场Casimir效应 | 第55-57页 |
| ·声场Casimir效应对于微纳器件稳定性的影响 | 第57-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第69页 |