| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·微机电系统概述 | 第9-11页 |
| ·MEMS对装配技术的挑战 | 第11-12页 |
| ·微装配技术国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·MEMS焊点自组装研究内容 | 第14-15页 |
| ·基于表面张力驱动的MEMS焊点自组装原型及其优势 | 第15-17页 |
| ·研究思路与方法 | 第17-18页 |
| ·本论文章节安排 | 第18-20页 |
| 第二章 表面张力驱动MEMS自组装理论基础 | 第20-28页 |
| ·表面张力驱动MEMS自组装基础 | 第20-23页 |
| ·表面张力 | 第20页 |
| ·润湿 | 第20-21页 |
| ·毛细现象 | 第21页 |
| ·拉普拉斯压力 | 第21-22页 |
| ·液滴最终平衡的条件 | 第22-23页 |
| ·表面张力的尺寸效应 | 第23页 |
| ·基于表面张力驱动的MEMS自组装二维模型及其分析 | 第23-25页 |
| ·二维分析 | 第24-25页 |
| ·最终自组装角度的控制 | 第25页 |
| ·基于表面张力驱动的MEMS自组装三维模型及其分析 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 MEMS焊点自组装动态建模与仿真分析 | 第28-43页 |
| ·Surface Evolver简介及其建模基础 | 第28-31页 |
| ·Surface Evolver介绍 | 第28-31页 |
| ·力计算方法及其在自组装模型中的应用 | 第31页 |
| ·基于Surface Evolver的MEMS焊点自组装动态建模 | 第31-35页 |
| ·动态模型的建立 | 第31-33页 |
| ·动态模型的验证 | 第33-35页 |
| ·MEMS焊点自组装动态模型仿真分析 | 第35-41页 |
| ·动态模型结果分析及其与当前研究的对比 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 ANSYS中自组装模型的重构与组装热变形建模 | 第43-55页 |
| ·ANSYS简介 | 第43页 |
| ·ANSYS中动态模型重构及实体模型建立 | 第43-48页 |
| ·模型重构及实体模型建立缘由 | 第43-44页 |
| ·模型重构及实体模型建立流程 | 第44-48页 |
| ·自组装模型热分析探讨 | 第48页 |
| ·热分析基本理论 | 第48-50页 |
| ·网格划分 | 第50-52页 |
| ·单元类型的选择及材料属性的设置 | 第50-51页 |
| ·网格控制 | 第51页 |
| ·生成网格 | 第51-52页 |
| ·加载与求解 | 第52-54页 |
| ·约束条件及温度相关载荷 | 第52-53页 |
| ·微观作用力 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 自组装模型热变形、应力分析技术 | 第55-72页 |
| ·表面张力驱动的自组装角度精度控制分析 | 第55-56页 |
| ·微构件Z方向变形比较分析 | 第56-61页 |
| ·微构件应力比较分析 | 第61-68页 |
| ·等效应力比较分析 | 第61-64页 |
| ·X方向应力比较分析 | 第64-66页 |
| ·Y方向应力比较分析 | 第66-68页 |
| ·限位（自锁）机构的设计与分析 | 第68-70页 |
| ·研究成果对比分析 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 MEMS焊点自组装试验规划 | 第72-77页 |
| ·试验目的 | 第72页 |
| ·试验设计 | 第72页 |
| ·自组装试验流程 | 第72-76页 |
| ·工艺流程 | 第73-74页 |
| ·试验步骤分析 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第七章 总结与展望 | 第77-79页 |
| ·结论 | 第77-78页 |
| ·展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 作者在攻读硕士期间的主要研究成果 | 第83页 |
