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一般性问题
压电自感应式惯性驱动器的理论及试验研究
被动式电磁阻尼器对磁悬浮柔性转子振动控制的研究
IPMC改性及其驱动微泵的设计
金属波纹管膨胀节计算机辅助软件设计
基于虚拟仪器测控系统的开发与研究
基于压电驱动的摩擦式微位移工作台的研究
电热微夹钳的性能测试
阵列微结构对微器件超声波精密封接的影响
微型无标记静止式PCR系统研究
SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺
基于XPC环境的两轴稳定平台控制策略研究
基于VRML的Stewart平台结构干涉校核研究
稀土超磁致伸缩驱动微动夹钳研究
新型高精度二维调平台结构研究
工程机械多功能试验台方案分析与关键技术研究
基于虚拟仪器的液压设备多源诊断信息获取实验系统开发
基于概念设计的金属螺旋波纹管成型机系统设计
砷化镓基介观压阻型微机械陀螺仪的设计与测试
扭臂式MEMS光开关的建模与优化
卷式膜组器结构的优化设计
基于柔顺机构SMA扭转驱动器设计及实验研究
MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析
基于新型菱形放大机构的微位移工作台结构研究
基于锯齿型微沟道的双腔并联无阀微泵研究
磁流变阻尼器—转子系统的有限元分析
直线驱动式精密静压气浮平台的稳定性分析与实验研究
单片柔顺机构微夹钳的性能分析及控制技术的研究
基于自供能技术的磁流变阻尼器参数检测系统设计
多尺度微/纳米定位系统的设计、分析及试验研究
一种六自由度微定位工作台位姿控制新方法研究
考虑漏电场的扭转式微执行器Pull-in机理分析
面向微流控芯片的压电无阀微泵的研究
压电陶瓷驱动器特性研究及二维微纳定位平台结构设计
基于压电驱动的多自由度微操纵平台及其测控技术的研究
平面亚微米导电率精确测量及其在MEMS器件无损检测中的应用研究
基于拓扑优化方法的二维柔性结构微动平台研究
超高加速度精密运动平台研制
单轴气浮台控制系统测试与实现
用于SEM纳米操作的粘滑型精密定位工作台的研究
高精度转台速率平稳性问题研究
基于逆磁致效应的超磁致伸缩微驱动方法研究
面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计
三轴稳定跟踪平台设计与研究
纳米级MEMS定位平台的驱动与控制方法研究
被动式微流体混合器的通道拓扑优化
基于微小阀圆形压电晶片驱动器的作用机理与试验研究
基于卡西米尔势能温度场的微电子机械系统性能研究
磁悬浮掩模台的结构设计及其性能研究
基于GMM和柔性铰链的大位移微致动器设计与研究
宏观尺度的纳米级定位控制技术研究
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