| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 图表索引 | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1．1 引言 | 第9-11页 |
| 1．2 碳化硅材料的性能 | 第11-13页 |
| 1．2．1 物理性能 | 第11-12页 |
| 1．2．2 工艺性能 | 第12-13页 |
| 1．3 碳化硅反射镜研究动态 | 第13-16页 |
| 1．3．1 研究工作进展 | 第13-14页 |
| 1．3．2 碳化硅反射镜制作的技术现状 | 第14-16页 |
| 1．4 碳化硅反射镜的制作工艺 | 第16-20页 |
| 1．4．1 反应烧结法 | 第16-18页 |
| 1．4．2 化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| 1．4．3 热压（或热等静压）法 | 第19-20页 |
| 1．4．4 碳化硅反射镜制作工艺的比较 | 第20页 |
| 1．5 研究工作意义 | 第20-21页 |
| 1．6 论文的主要内容及安排 | 第21-22页 |
| 第二章 反射镜素坯制备 | 第22-54页 |
| 2．1 引言 | 第22页 |
| 2．2 成型方法的选择 | 第22-29页 |
| 2．2．1 成型方法简介 | 第22-28页 |
| 2．2．2 反射镜成型方法的选择 | 第28-29页 |
| 2．3 注射成型用于反射镜素坯成型的实验研究 | 第29-31页 |
| 2．3．1 成型过程 | 第29-30页 |
| 2．3．2 结果与讨论 | 第30-31页 |
| 2．4 反射镜素坯凝胶注模成型的基本设想 | 第31-34页 |
| 2．4．1 素坯缺陷及其成因 | 第31-32页 |
| 2．4．2 反射镜镜坯凝胶注模成型工艺设计方案 | 第32-34页 |
| 2．5 聚丙烯酰胺用作反射镜素坯成型结合剂的研究 | 第34-36页 |
| 2．5．1 丙烯酰胺和丙烯酰胺聚合物 | 第34页 |
| 2．5．2 丙烯酰胺用于陶瓷件凝胶注模成型的实验研究 | 第34-36页 |
| 2．6 有机硅树脂用于反射镜素坯成型结合剂的研究 | 第36-51页 |
| 2．6．1 硅树脂的性能与合成 | 第36-39页 |
| 2．6．2 有机硅树脂结合剂 | 第39-49页 |
| 2．6．3 反射镜素坯的成型工艺 | 第49-51页 |
| 2．7 毛坯的渗碳 | 第51-53页 |
| 2．8 毛坯的预烧 | 第53页 |
| 2．9 本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 反应烧结 | 第54-68页 |
| 3．1 反应烧结工艺 | 第54-56页 |
| 3．1．1 反应烧结炉 | 第54-55页 |
| 3．1．2 反应烧结过程 | 第55-56页 |
| 3．2 液硅对固碳的润湿 | 第56-60页 |
| 3．2．1 基本理论 | 第56-58页 |
| 3．2．2 液硅/固碳之间的反应润湿机制 | 第58-60页 |
| 3．3 反应烧结碳化硅的烧结机理 | 第60-63页 |
| 3．3．1 研究者们对反应烧结碳化硅烧结机理的阐述 | 第61-62页 |
| 3．3．2 对反应烧结碳化硅烧结机理的理论探索 | 第62-63页 |
| 3．4 反应烧结碳化硅的显微结构及其形成过程 | 第63-67页 |
| 3．4．1 研究者对反应烧结碳化硅显微结构的描述 | 第63-65页 |
| 3．4．2 反应烧结过程中的β→α转变 | 第65-67页 |
| 3．5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 反应烧结碳化硅的结构与性能 | 第68-80页 |
| 4．1 反应烧结碳化硅的物相鉴定 | 第68-69页 |
| 4．2 反应烧结碳化硅中的游离硅 | 第69-72页 |
| 4．2．1 影响反应烧结碳化硅中游离硅含量的因素 | 第70-71页 |
| 4．2．2 游离硅含量的实验测定 | 第71-72页 |
| 4．3 反应烧结碳化硅的密度 | 第72页 |
| 4．4 反应烧结碳化硅的显微结构 | 第72-74页 |
| 4．4．1 样品制备 | 第73页 |
| 4．4．2 显微结构表征 | 第73-74页 |
| 4．5 反应烧结碳化硅的显微硬度 | 第74页 |
| 4．6 反应烧结碳化硅的热膨胀系数 | 第74-75页 |
| 4．7 反应烧结碳化硅的加工性能 | 第75-79页 |
| 4．7．1 反应烧结碳化硅的加工性能的理论研究 | 第75-78页 |
| 4．7．2 反应烧结碳化硅加工性能的实验研究 | 第78-79页 |
| 4．8 本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 结论与展望 | 第80-84页 |
| 5．1 结论 | 第80页 |
| 5．2 研究工作的主要创新点 | 第80-81页 |
| 5．2 尚需解决的问题 | 第81页 |
| 5．3 对下一步研究工作的展望 | 第81-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 作者简历 | 第92-93页 |
| 发表文章目录 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-11页 |
| 图表索引 | 第11-94页 |
| 表1．1 几种反射镜材料的性能比较 | 第11-15页 |
| 表1．2 反射镜材料的技术发展状况 | 第15页 |
| 表1．3 反射镜材料的生产和规模化情况 | 第15-20页 |
| 表1．4 碳化硅反射镜制作工艺的比较 | 第20-29页 |
| 表2．1 陶瓷素坯成型技术的比较 | 第29-39页 |
| 表2．2 R/Si值对硅树脂的影响 | 第39-43页 |
| 表2．3 结合剂的性能比较 | 第43-48页 |
| 表2．4 溶剂的性质 | 第48-68页 |
| 表4．1 光学材料特性比较 | 第68-69页 |
| 表4．2 不同材料的脆性和塑性 | 第69-26页 |
| 图2．1 凝胶注模工艺流程 | 第26-37页 |
| 图2．2 硅树脂结构 | 第37-42页 |
| 图2．3 硅树脂坯体中的分布 | 第42-51页 |
| 图2．4 RSSiC反射镜模型素坯 | 第51-54页 |
| 图3．1 反应烧结炉结构 | 第54-56页 |
| 图3．2 反应烧结制度 | 第56-57页 |
| 图3．3 液体在固体表面的润湿 | 第57-60页 |
| 图3．4 液硅在玻璃碳表面的润湿过程 | 第60-62页 |
| 图3．5 硅碳系统相图 | 第62-64页 |
| 图3．6 反应烧结碳化硅显微结构示意图 | 第64-65页 |
| 图3．7 RSSiC中的β→α转变示意图 | 第65-66页 |
| 图3．8 孪晶转变机理 | 第66-68页 |
| 图4．1 工艺过程，显微结构和性能三者之间的关系 | 第68-69页 |
| 图4．2 RSSiC衍射图 | 第69-73页 |
| 图4．3 RSSiC的显微结构 | 第73页 |
| 图4．4 Si元素含量的线扫描结果（图4．3中A．B两点之间） | 第73页 |
| 图4．5 RSSiC的的断面形貌 | 第73-79页 |
| 图4．6 研磨后的RSSiC表面 | 第79-94页 |
