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半导体器件制造工艺及设备
镀镍铜框架表面改性及提高与EMC粘附力的研究
0.16微米LOGIC SRAM光刻工艺参数的优化研究
深亚微米集成电路制造中电介质自对准接触通孔刻蚀工艺机理及应用
有机铁电材料P(VDF-TrFE)纳米结构制备及性能研究
等离子体浸没离子注入技术在ZnO薄膜p型改性方面的应用研究
磁约束磁控溅射源的关键技术研究
红外玻璃的模压制造研究
基于半导体制造业的生产设备产能跟踪系统
直接浅沟道隔离平坦化技术的研究及应用
基于线性规划的半导体制造业中期生产计划系统的设计与实现
纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用
基于准分子激光投影扫描系统的大面积ITO及TFT光刻的研究
具有晶圆重入加工的单臂组合设备调度与仿真
准分子激光投影光刻光学系统测试及评价
阳离子型纳米压印胶与复合纳米压印模板的研究
Mg掺杂GaN薄膜退火性质及GaN薄膜湿法刻蚀的研究
电子束处理多晶硅粉体除杂的工艺研究
光刻工艺中聚酰亚胺层光阻减量和线宽均匀性研究
准分子激光相位掩模制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜的研究
浸没式光刻机浸液流动特性及其对物镜影响
投影光刻物镜的光学设计与像质补偿
基于批决策的半导体生产线调度问题研究
基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究
模板诱导的嵌段共聚物和纳米粒子自组装
I公司检测设备的调试优化研究与应用
含驻留时间约束的集束型制造设备群的周期调度研究
0.13um栅极多晶硅低压沉积工艺稳定性研究
4英寸p型硅微通道板工艺改进及其应用在电子倍增管方面的探索
等离子体浸没离子注入系统及其应用研究
划片机工作台精确定位控制技术研究
低能离子束刻蚀中自组织纳米结构形成研究
多晶硅铸锭工艺研究和数值模拟
采用指数加权平均控制器的半导体生产过程的稳定性与性能分析
基于问题分解与蚁群算法的半导体晶圆制造系统调度方法的研究
高深宽比微结构加工技术研究
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