基于半导体制造业的生产设备产能跟踪系统
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-14页 |
| ·项目研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第12-13页 |
| ·课题研究的意义 | 第13页 |
| ·论文组织结构 | 第13-14页 |
| 第二章 半导体制造业的计算机集成制造概述 | 第14-21页 |
| ·半导体制造业介绍 | 第14-16页 |
| ·半导体制造业的发展 | 第14页 |
| ·半导体制造的流程特征 | 第14-16页 |
| ·半导体企业的计算机集成制造系统及其构成 | 第16-20页 |
| ·计算机集成制造概述 | 第16-17页 |
| ·某半导体企业的计算机集成制造系统及构成 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 系统的框架和相关技术 | 第21-45页 |
| ·系统的功能描述 | 第21-22页 |
| ·系统架构 | 第22-26页 |
| ·系统功能模块结构 | 第26-27页 |
| ·系统拓扑结构 | 第27页 |
| ·相关技术研究 | 第27-44页 |
| ·Samba | 第27-29页 |
| ·Perl | 第29-31页 |
| ·正则表达式 | 第31-34页 |
| ·SQL Loader | 第34-36页 |
| ·PL/SQL | 第36-41页 |
| ·Shell 语句 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 系统的应用与实现 | 第45-62页 |
| ·总体数据流图 | 第45-46页 |
| ·Aviza-PVD 设备具体实现 | 第46-58页 |
| ·Aviza-PVD 设备功能 | 第46-48页 |
| ·数据字典 | 第48页 |
| ·表结构设计 | 第48-52页 |
| ·具体实现过程 | 第52-58页 |
| ·每小时理论产量的验证及应用 | 第58-61页 |
| ·每小时理论产量值的验证 | 第58-59页 |
| ·每小时理论产量值的应用 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 系统测试 | 第62-71页 |
| ·系统环境搭建 | 第62页 |
| ·测试过程 | 第62-70页 |
| ·测试结果分析 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| ·后续工作 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
