| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·划片机的发展过程及国内外发展现状 | 第9-11页 |
| ·划片机的发展过程 | 第9-10页 |
| ·划片机的国内外现状 | 第10-11页 |
| ·划片机的工作原理 | 第11-13页 |
| ·划片机存在的问题及本论文研究的问题 | 第13-16页 |
| ·目前划片机存在的问题 | 第13-14页 |
| ·高精度定位及控制技术 | 第14-16页 |
| ·划片机工作台的技术指标 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 2 工作台的各部件及选型 | 第19-29页 |
| ·概述 | 第19页 |
| ·直线电机的选型计算 | 第19-26页 |
| ·直线电机的概述 | 第19-20页 |
| ·直线电机的类型选择 | 第20-21页 |
| ·主要直线电机厂商及产品介绍 | 第21-24页 |
| ·直线电机的计算 | 第24-26页 |
| ·运动控制卡的概述及选型 | 第26页 |
| ·驱动器 | 第26-27页 |
| ·光栅尺 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 工作台进给系统模型的建立及辨识 | 第29-38页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·直线电机的物理模型及数学模型 | 第29-32页 |
| ·工作台的物理模型及数学模型 | 第32-34页 |
| ·气浮工作台的数学模型 | 第33页 |
| ·滚动导轨工作台的数学模型 | 第33-34页 |
| ·模型辨识 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 控制系统的设计和参数优化 | 第38-50页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·PID控制器的结构及原理 | 第38-39页 |
| ·各控制环的控制算法 | 第39-42页 |
| ·基于遗传算法的PID参数整定 | 第42-47页 |
| ·遗传算法的概述与基本实现技术 | 第43-44页 |
| ·参数优化的步骤及仿真结果 | 第44-47页 |
| ·基于MATLAB/Simulink的控制技术仿真 | 第47-49页 |
| ·Simulink仿真工具 | 第47页 |
| ·控制系统动态特性仿真 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 控制实验 | 第50-55页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·各控制环的控制模式 | 第50-53页 |
| ·控制实验 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 结论 | 第55-58页 |
| ·结论 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |