| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第12-18页 |
| ·半导体生产批间控制面临的难点以及本文的工作 | 第18-20页 |
| ·本文内容安排 | 第20-21页 |
| 2 半导体生产过程中的指数加权平均算法 | 第21-27页 |
| ·指数加权平均算法历史 | 第21页 |
| ·单-指数加权平均控制算法 | 第21-25页 |
| ·双指数加权平均控制算法 | 第25-27页 |
| 3 混合产品生产过程中的两种控制方法 | 第27-38页 |
| ·混合产品生产过程简介 | 第27-28页 |
| ·系统的模型 | 第28-29页 |
| ·基于机台的指数加权平均控制方法 | 第29-30页 |
| ·基于产品的指数加权平均控制方法 | 第30-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 混合产品生产过程中的周期重置折扣因子指数加权平均算法 | 第38-59页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·问题描述 | 第39-43页 |
| ·基于线程的指数加权平均控制器的性能分析 | 第43-48页 |
| ·容错控制 | 第48-50页 |
| ·仿真例子 | 第50-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 5 混合产品生产过程中的周期预测指数加权平均算法 | 第59-91页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·问题阐述 | 第60-64页 |
| ·周期预测指数加权平均算法 | 第64-77页 |
| ·容错方法 | 第77-82页 |
| ·仿真例子 | 第82-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 6 带有测量时延的单产品生产过程的稳定性问题 | 第91-128页 |
| ·引言 | 第91-93页 |
| ·单一产品生产过程中的指数加权平均控制器 | 第93-102页 |
| ·单一产品生产过程中测量时延的转移概率矩阵 | 第102-109页 |
| ·单一产品生产的仿真例子 | 第109-126页 |
| ·本章小结 | 第126-128页 |
| 7 带有测量时延的混合产品生产过程的稳定性问题 | 第128-145页 |
| ·引言 | 第128-129页 |
| ·混合产品生产过程中的指数加权平均控制器 | 第129页 |
| ·系统模型 | 第129-131页 |
| ·混合产品生产过程中的测量时延之间的转移概率矩阵 | 第131-135页 |
| ·混合产品生产过程的仿真例子 | 第135-144页 |
| ·结论 | 第144-145页 |
| 8 总结与展望 | 第145-146页 |
| ·全文工作总结 | 第145页 |
| ·展望 | 第145-146页 |
| 致谢 | 第146-148页 |
| 参考文献 | 第148-153页 |
| 附录1 第3章附录 | 第153-157页 |
| 附录2 第4章附录 | 第157-164页 |
| 附录3 第5章附录 | 第164-173页 |
| 附录4 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第173-174页 |
| 附录5 攻读博士学位期间参加的课题 | 第174页 |