| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·光刻技术 | 第10-12页 |
| ·热压纳米压印技术(Thermal nanoimprint,T-NIL) | 第12-14页 |
| ·热纳米压印模板材料 | 第13-14页 |
| ·热纳米压印胶材料 | 第14页 |
| ·紫外光固化纳米压印技术(UV curable nanoimprint,UV-NIL) | 第14-16页 |
| ·紫外光固化纳米压印模板 | 第15-16页 |
| ·紫外光固化纳米压印胶 | 第16页 |
| ·软印刷技术(Soft lithography) | 第16-17页 |
| ·纳米压印技术的现状 | 第17-18页 |
| ·论文结构 | 第18-19页 |
| ·参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 环氧改性聚甲基硅氧烷纳米压印胶的制备和应用 | 第21-39页 |
| ·引言 | 第21-24页 |
| ·epoxysiloxane的合成原理 | 第22-23页 |
| ·反应离子刻蚀(RIE) | 第23-24页 |
| ·实验装置 | 第24-26页 |
| ·纳米压印机 | 第25-26页 |
| ·实验步骤 | 第26页 |
| ·表征 | 第26页 |
| ·压印及图形转移 | 第26-28页 |
| ·结果与讨论 | 第28-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| ·参考文献 | 第37-39页 |
| 第三章 一种新型复合(三明治结构)纳米压印模板制备和应用 | 第39-68页 |
| ·引言 | 第39-45页 |
| ·实验过程 | 第45-50页 |
| ·复合(三明治结构)纳米压印模板的结构 | 第45-47页 |
| ·复合(三明治结构)纳米压印模板的制备 | 第47-49页 |
| ·纳米压印过程 | 第49-50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-65页 |
| ·过渡层厚度的调节 | 第50-51页 |
| ·复合(三明治结构)纳米压印模板的紫外光透过率 | 第51-52页 |
| ·复合(三明治结构)纳米压印模板的防粘处理 | 第52-54页 |
| ·模板的裂纹 | 第54-55页 |
| ·模板的保真度 | 第55-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| ·参考文献 | 第66-68页 |
| 第四章 本论文的主要结论、创新点及研究工作展望 | 第68-70页 |
| ·本论文的主要结论及创新点 | 第68-69页 |
| ·研究工作展望 | 第69-70页 |
| 作者在攻读硕士学位期间已发表和待发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
