| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| Content | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| ·课题研究背景 | 第14-17页 |
| ·半导体产业发展现状 | 第14-16页 |
| ·晶圆制造工艺 | 第16-17页 |
| ·组合设备调度问题概述 | 第17-20页 |
| ·组合设备 | 第17-18页 |
| ·关于组合设备运行的研究现状 | 第18-20页 |
| ·相关调度问题研究 | 第20-22页 |
| ·本文研究内容和组织结构 | 第22-23页 |
| ·研究内容 | 第22页 |
| ·论文的组织 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 基于Petri网的晶圆重入加工过程建模 | 第24-35页 |
| ·单臂组合设备重入加工过程 | 第24-25页 |
| ·Petri网的基本理论 | 第25-28页 |
| ·Petri网的定义 | 第25-26页 |
| ·Petri网的基本特性 | 第26-27页 |
| ·Petri网的研究内容和研究方法 | 第27-28页 |
| ·组合设备的Petri网建模 | 第28-32页 |
| ·机械手的Petri网模型 | 第28-29页 |
| ·晶圆流程模式(ml,(m2,m3)h,m4)的Petri网模型 | 第29-32页 |
| ·死锁控制策略 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 晶圆重入加工单臂组合设备的调度分析 | 第35-45页 |
| ·晶圆重入过程最优调度分析 | 第35-36页 |
| ·整个系统调度分析 | 第36-44页 |
| ·晶圆流程模式为(m_1,(m_2,m_3)~3,m_4)的调度分析 | 第37-42页 |
| ·晶圆流程模式为(m_1,(m_2,m_3)~h,m_4)的调度(2≤h≤n) | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 基于eM-Plant的晶圆重入加工过程仿真 | 第45-61页 |
| ·离散事件系统概述 | 第45-48页 |
| ·离散事件系统介绍 | 第45-46页 |
| ·离散事件系统建模 | 第46页 |
| ·离散事件系统仿真 | 第46-48页 |
| ·系统仿真软件eM-Plant | 第48-50页 |
| ·eM-Plant介绍 | 第48-49页 |
| ·eM-Plant的系统对象分类 | 第49-50页 |
| ·仿真模型框架 | 第50-51页 |
| ·仿真模型的数据输入和初始化 | 第51-55页 |
| ·机械手的控制原理 | 第55-59页 |
| ·机械手控制策略 | 第55-57页 |
| ·晶圆进出PM控制程序 | 第57-59页 |
| ·系统时间的模拟 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 应用例子 | 第61-72页 |
| ·例子 | 第61-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 总结与展望 | 第72-74页 |
| 总结 | 第72页 |
| 展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
