含驻留时间约束的集束型制造设备群的周期调度研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题背景和意义 | 第9-11页 |
| ·课题相关内容 | 第11-15页 |
| ·晶圆制造工艺过程 | 第11-12页 |
| ·单集束型晶圆制造设备 | 第12-14页 |
| ·集束群晶圆制造设备 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-20页 |
| ·单集束型设备调度问题的研究现状 | 第16-18页 |
| ·集束型设备群调度问题的研究现状 | 第18-19页 |
| ·抓钩调度问题的研究现状 | 第19-20页 |
| ·文章结构 | 第20-21页 |
| 第二章 问题描述和分析 | 第21-28页 |
| ·相关符号定义 | 第21-22页 |
| ·假设条件 | 第22-23页 |
| ·单集束型制造设备 | 第23-24页 |
| ·集束型制造设备群 | 第24-25页 |
| ·驻留时间约束现象 | 第25-26页 |
| ·资源约束现象 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 无驻留现象的集束型设备群的周期调度 | 第28-44页 |
| ·单集束型设备的调度 | 第28-31页 |
| ·托策略 | 第28-29页 |
| ·单集束型设备的FP | 第29-31页 |
| ·分解法 | 第31-43页 |
| ·已分解单集束型设备的基本周期 | 第32-33页 |
| ·虚拟输入/输出模块的装载延迟时间 | 第33-34页 |
| ·虚拟加工模块的虚拟加工时间 | 第34-35页 |
| ·计算基本周期FP | 第35-36页 |
| ·机械手调度分析 | 第36-37页 |
| ·算法流程 | 第37-39页 |
| ·仿真分析 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 考虑驻留现象的集束型设备群的周期调度 | 第44-71页 |
| ·单集束型设备MIP 模型的建立 | 第44-49页 |
| ·驻留时间约束 | 第45-46页 |
| ·机械手资源约束 | 第46页 |
| ·加工腔资源约束 | 第46-47页 |
| ·其余约束 | 第47页 |
| ·实例分析算例一 | 第47-49页 |
| ·集束型设备群MIP 模型的建立 | 第49-50页 |
| ·CM-MIP 算法 | 第50-56页 |
| ·实例分析算例二 | 第53-56页 |
| ·仿真环境 | 第56-58页 |
| ·C++语言概述 | 第56-57页 |
| ·ILOG CPLEX 简介 | 第57页 |
| ·硬件环境 | 第57-58页 |
| ·软件环境 | 第58页 |
| ·仿真实验及分析 | 第58-70页 |
| ·性能评价标准 | 第58页 |
| ·算法比较 | 第58-60页 |
| ·缓冲模块对产能的影响 | 第60-64页 |
| ·工序数对R 的影响 | 第64-66页 |
| ·搬运时间的影响 | 第66-67页 |
| ·加工时间的影响 | 第67-69页 |
| ·驻留时间的影响 | 第69-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间发表和撰写的学术论文目录 | 第79-82页 |
| 附件 | 第82页 |
