基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题概述 | 第10-12页 |
| ·光刻机投影物镜波像差检测技术研究现状及发展趋势 | 第12-19页 |
| ·本文主要研究工作及创新 | 第19-21页 |
| 2 离轴照明光源全参数解析建模理论研究 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·基于Sigmoid函数的连续光强模型 | 第22-24页 |
| ·基于全参数修正项的光源物理模型 | 第24-26页 |
| ·仿真分析及实验验证 | 第26-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 波像差导致的空间像畸变建模理论与快速算法研究 | 第33-52页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·投影式光刻机成像系统 | 第34-39页 |
| ·基于FFT的三阶互相关快速算法理论 | 第39-41页 |
| ·基于三阶互相关算子的波像差二阶模型 | 第41-43页 |
| ·波像差导致的空间像畸变仿真实验 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 4 适用于圆形照明光源的波像差在线检测理论与方法 | 第52-78页 |
| ·引言 | 第52-53页 |
| ·二元光栅掩模标记成像频谱分析方法 | 第53-56页 |
| ·适用于圆形照明光源的波像差灵敏度解析函数 | 第56-60页 |
| ·波像差37级Zernike系数求解方法 | 第60-62页 |
| ·二元光栅掩模标记优化配置理论 | 第62-64页 |
| ·圆形光源照明设置下的波像差在线检测仿真实验 | 第64-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 5 适用于任意照明光源的波像差在线检测理论与方法 | 第78-93页 |
| ·引言 | 第78-79页 |
| ·波像差广义灵敏度函数理论推导 | 第79-81页 |
| ·波像差37级Zernike系数求解方法 | 第81-83页 |
| ·检测方法实质及物理内涵 | 第83-84页 |
| ·适用于任意照明光源的波像差在线检测仿真实验 | 第84-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 6 总结与展望 | 第93-96页 |
| ·全文总结 | 第93-94页 |
| ·研究展望 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表学术论文目录 | 第104-105页 |
| 附录2 攻读博士学位期间所获奖励 | 第105页 |
