面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·纳米压印工艺简介 | 第11-14页 |
| ·热压印工艺的特点 | 第12-13页 |
| ·紫外压印工艺的特点 | 第13-14页 |
| ·国内外相关研究的发展现状 | 第14-18页 |
| ·纳米压印微光学元件加工技术 | 第14-16页 |
| ·压印设备 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 纳米压印设备的总体结构及性能指标 | 第20-34页 |
| ·纳米压印设备的总体性能指标 | 第20-21页 |
| ·压印过程及总体结构设计 | 第21-23页 |
| ·压印过程 | 第21-22页 |
| ·机械结构总体设计 | 第22-23页 |
| ·柔性压头的结构设计 | 第23-24页 |
| ·隔热材料的选取 | 第24-26页 |
| ·紫外固化光源 | 第26-27页 |
| ·硬件总体结构设计 | 第27-29页 |
| ·系统软件设计 | 第29-33页 |
| ·上位机软件实现 | 第29-33页 |
| ·控制系统软件主体设计 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 温度控制系统的研究 | 第34-50页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·温度控制系统的总体方案 | 第34-35页 |
| ·温控系统硬件设计 | 第35-41页 |
| ·温度传感器的选择 | 第35-37页 |
| ·温度信号调理模块 | 第37-38页 |
| ·主控单元及AD 采集 | 第38-39页 |
| ·固态继电器及驱动电路 | 第39-41页 |
| ·温度处理的拟合算法 | 第41-43页 |
| ·PID 闭环控制原理与算法 | 第43-47页 |
| ·PID 控制原理 | 第44-45页 |
| ·数字PID 控制算法 | 第45-47页 |
| ·控制系统软件设计 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 压力控制系统研究 | 第50-62页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·压力控制方案设计 | 第50-54页 |
| ·气动伺服控制系统基本原理 | 第51-52页 |
| ·PWM 气动控制方式 | 第52-54页 |
| ·压头定位装置介绍 | 第54页 |
| ·静压式执行器控制系统分析 | 第54-57页 |
| ·系统抗干扰设计 | 第57-58页 |
| ·压力控制系统硬件实现 | 第58-60页 |
| ·控制系统的软件设计 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第62-72页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·温度控制实验 | 第62-67页 |
| ·温度对比实验 | 第62-64页 |
| ·阶梯升温控制实验 | 第64-65页 |
| ·温度控制精度实验 | 第65-66页 |
| ·恒温稳定性测试 | 第66页 |
| ·升温速度测试 | 第66-67页 |
| ·压力控制实验 | 第67-69页 |
| ·稳定性测试实验 | 第67页 |
| ·动态重复性误差实验 | 第67-68页 |
| ·分辨率实验 | 第68-69页 |
| ·微光学元件复制实验 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
