| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·本文研究的重要意义 | 第12-13页 |
| ·微操纵系统相关技术的研究现状及其发展趋势 | 第13-21页 |
| ·基于柔性铰链微操纵机械本体的广泛应用 | 第14-17页 |
| ·压电致动器成为主流的运动驱动元件 | 第17-20页 |
| ·高性能测控技术应用的日益深入 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究内容及章节安排 | 第21-23页 |
| 第二章 多自由度微操纵平台本体设计及其模型建立 | 第23-35页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·多自由度微操纵平台总体方案设计 | 第23-24页 |
| ·多自由度微操纵平台本体设计 | 第24-25页 |
| ·二维平台本体设计 | 第24页 |
| ·三维平台本体设计 | 第24-25页 |
| ·多自由度微操纵平台本体特性分析 | 第25-33页 |
| ·静态特性分析 | 第25-31页 |
| ·动态特性分析 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 压电陶瓷致动器迟滞非线性Preisach建模技术的研究 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·压电陶瓷致动器迟滞非线性Preisach建模技术 | 第35-39页 |
| ·Preisach模型的深化实现 | 第39-44页 |
| ·基于双线性插值的Preisach模型 | 第39-40页 |
| ·基于BP神经网络的Preisach模型 | 第40-42页 |
| ·基于支持向量机的Preisach模型 | 第42-44页 |
| ·仿真与实验研究 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 微操纵平台测控及驱动技术的研究 | 第48-58页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·系统总体方案设计 | 第48-49页 |
| ·基于PXI总线的测控模块设计 | 第49-53页 |
| ·总体方案设计 | 第49-50页 |
| ·关键技术研究 | 第50-53页 |
| ·功率放大模块设计及压电陶瓷驱动器选取 | 第53-56页 |
| ·功率放大模块 | 第53-55页 |
| ·压电陶瓷致动器 | 第55-56页 |
| ·电压调理模块的研究 | 第56页 |
| ·测控软件系统的开发 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 多自由度微操纵平台系统集成及实验研究 | 第58-67页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·系统集成 | 第58-59页 |
| ·平台控制技术研究 | 第59-60页 |
| ·开环控制 | 第59页 |
| ·闭环控制 | 第59-60页 |
| ·平台特性实验 | 第60-65页 |
| ·阶跃响应实验 | 第60-62页 |
| ·精密定位实验 | 第62-63页 |
| ·轨迹跟踪实验 | 第63-65页 |
| ·误差分析 | 第65-66页 |
| ·模型误差 | 第65-66页 |
| ·控制系统误差 | 第66页 |
| ·测量误差 | 第66页 |
| ·环境误差 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 作者简历及在校期间所取得的科研成果 | 第75页 |