基于锯齿型微沟道的双腔并联无阀微泵研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的提出 | 第8-9页 |
| ·微泵的国内外研究现状 | 第9-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 无阀压电微泵的工作原理 | 第16-27页 |
| ·扩散/收缩管微泵工作原理 | 第16-20页 |
| ·压电致动器原理 | 第20-27页 |
| ·压电效应及压电材料 | 第21-23页 |
| ·压电陶瓷性能参数 | 第23-24页 |
| ·压电双晶片工作原理 | 第24-27页 |
| 3 无阀压电微泵的有限元仿真分析 | 第27-42页 |
| ·双腔并联无阀微泵的结构设计 | 第27-29页 |
| ·锯齿型微沟道仿真分析 | 第29-36页 |
| ·实体建模及参数定义 | 第29-32页 |
| ·仿真结果及分析 | 第32-36页 |
| ·悬臂梁式压电驱动器仿真分析 | 第36-42页 |
| ·压电双晶片的结构静力分析 | 第37-41页 |
| ·压电双晶片的模态分析 | 第41-42页 |
| 4 锯齿型扩散/收缩管无阀微泵的制作 | 第42-53页 |
| ·锯齿型扩散/收缩管的制作 | 第42-49页 |
| ·硅基扩散/收缩管 | 第43-47页 |
| ·玻璃扩散/收缩管 | 第47-49页 |
| ·泵腔的制作 | 第49-50页 |
| ·泵膜的制作 | 第50页 |
| ·压电双晶片的选择 | 第50-51页 |
| ·微泵的封装 | 第51-53页 |
| ·封装工艺 | 第51-52页 |
| ·封装中存在的问题及其解决方法 | 第52-53页 |
| 5 无阀微泵检测系统及测试结果分析 | 第53-68页 |
| ·压电双晶片测试系统及结果分析 | 第53-56页 |
| ·压电片振幅测量系统 | 第53页 |
| ·压电片振幅测量结果分析 | 第53-56页 |
| ·流量传感器检测系统设计 | 第56-62页 |
| ·微流量传感器工作原理 | 第56-57页 |
| ·流量传感器检测系统设计 | 第57-62页 |
| ·流量检测系统及测试结果分析 | 第62-68页 |
| ·流量检测系统 | 第62-63页 |
| ·驱动电压对流量的影响 | 第63-64页 |
| ·锯齿型和平滑型收缩/扩散管的性能对比 | 第64页 |
| ·锯齿型微沟道结构参数对流量的影响 | 第64-67页 |
| ·单腔和双腔微泵的流量对比 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
