多尺度微/纳米定位系统的设计、分析及试验研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·引言 | 第9-12页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·微定位系统的分类与大行程的界定 | 第10-12页 |
| ·微/纳米级定位系统的国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·国内研究现状 | 第12-13页 |
| ·国外研究现状 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-17页 |
| 2 微/纳米级定位系统的方案设计与工作原理 | 第17-27页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·定位系统的工作原理 | 第17-18页 |
| ·定位平台结构创新设计 | 第18-26页 |
| ·新型的驱动元件 | 第18-19页 |
| ·柔性铰链设计与分析 | 第19-21页 |
| ·微位移放大机构设计与分析 | 第21-23页 |
| ·定位系统设计与分析 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 微/纳米级定位系统的运动学与动力学分析 | 第27-45页 |
| ·自由度分析与位姿描述 | 第27-28页 |
| ·定位系统的运动学模型 | 第28-34页 |
| ·空间坐标转换 | 第28-29页 |
| ·运动学建模 | 第29-34页 |
| ·定位系统的变形与应力 | 第34-36页 |
| ·伪刚体模型法 | 第34-36页 |
| ·变形与应力的关系 | 第36页 |
| ·定位平台的动力学模型 | 第36-44页 |
| ·动力学建模 | 第37-41页 |
| ·动态阶跃响应 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 微/纳米级定位系统的优化设计与建模 | 第45-55页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·优化模型的建立 | 第45-49页 |
| ·静、动态特性分析 | 第45-47页 |
| ·总性能优化模型的建立 | 第47-48页 |
| ·定位系统的优化方法 | 第48-49页 |
| ·优化结果与分析 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 微/纳米级定位系统的控制与样机制造 | 第55-67页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·BP 神经网络PID 控制器 | 第55-61页 |
| ·BP 神经网络 | 第55-56页 |
| ·BP-PID 控制器设计 | 第56-57页 |
| ·三种控制方法的对比分析 | 第57-61页 |
| ·定位平台的加工工艺 | 第61-65页 |
| ·材料的选择 | 第61页 |
| ·加工流程与方法 | 第61-63页 |
| ·工艺过程卡片 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 6 微/纳米级定位系统的试验研究与评价 | 第67-91页 |
| ·试验装置与方法 | 第67-70页 |
| ·静、动态性能试验研究 | 第70-77页 |
| ·PZT 的标定 | 第70-71页 |
| ·线性度试验 | 第71-72页 |
| ·分辨率试验 | 第72-73页 |
| ·定位精度试验 | 第73-75页 |
| ·静刚度试验 | 第75-76页 |
| ·承载能力试验 | 第76-77页 |
| ·模态试验分析 | 第77-81页 |
| ·模态试验方法 | 第77-80页 |
| ·试验结果分析 | 第80-81页 |
| ·综合性能评价 | 第81-89页 |
| ·空间行程分析 | 第81-87页 |
| ·多尺度定位分析 | 第87-89页 |
| ·总性能评价 | 第89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 7 结论与展望 | 第91-93页 |
| ·全文总结 | 第91-92页 |
| ·后续工作与展望 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-99页 |
| 附录 | 第99页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第99页 |
| B. 作者在攻读学位期间申请的发明专利及获奖目录 | 第99页 |
| C. 作者在攻读学位期间参加的科研项目目录 | 第99页 |
