砷化镓基介观压阻型微机械陀螺仪的设计与测试
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-21页 |
| ·GaAs 材料属性 | 第12-14页 |
| ·GaAs 器件现状 | 第14-16页 |
| ·微机械陀螺仪的概述 | 第16-21页 |
| ·本论文的研究工作 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 微机械陀螺基础 | 第23-33页 |
| ·哥氏效应 | 第23-25页 |
| ·微机械陀螺动力学关键参数推导 | 第25-29页 |
| ·微机械陀螺的驱动与检测原理 | 第29-32页 |
| ·驱动与反馈原理 | 第29-31页 |
| ·介观压阻检测原理 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 介观压阻型电磁驱动微机械陀螺的结构设计 | 第33-77页 |
| ·结构设计原则与思路 | 第33-34页 |
| ·微机械陀螺主要内容与结构设计 | 第34-36页 |
| ·微机械陀螺结构设计 | 第34页 |
| ·微机械陀螺结构设计 | 第34-36页 |
| ·ANSYS 软件及优化设计 | 第36-41页 |
| ·ANSYS 软件概述 | 第36-38页 |
| ·ANSYS 优化设计 | 第38-41页 |
| ·微机械陀螺振动模态刚度分析与仿真 | 第41-50页 |
| ·驱动模态刚度分析 | 第42-45页 |
| ·检测模态刚度分析 | 第45-48页 |
| ·振动模态刚度仿真 | 第48-49页 |
| ·路径仿真 | 第49-50页 |
| ·微机械陀螺振动模态固有频率分析与仿真 | 第50-53页 |
| ·振动模态固有频率分析 | 第50-51页 |
| ·振动模态固有频率仿真 | 第51-53页 |
| ·微机械陀螺振动模态阻尼分析与计算 | 第53-64页 |
| ·滑膜阻尼 | 第54-55页 |
| ·压膜阻尼 | 第55-58页 |
| ·驱动方向阻尼分析与计算 | 第58-60页 |
| ·检测方向阻尼分析与计算 | 第60-64页 |
| ·微机械陀螺品质因数分析与仿真 | 第64-69页 |
| ·微机械陀螺品质因数分析 | 第64-65页 |
| ·微机械陀螺品质因数仿真 | 第65-69页 |
| ·微机械陀螺振动特性分析与仿真 | 第69-75页 |
| ·电磁驱动力分析 | 第69-71页 |
| ·电磁反馈电动势分析 | 第71-72页 |
| ·驱动方向特性仿真 | 第72-74页 |
| ·检测方向特性仿真 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第4章 介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺的工艺加工 | 第77-89页 |
| ·工艺流程 | 第77-81页 |
| ·版图设计与加工 | 第81-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 微机械陀螺的接口电路设计与性能测试 | 第89-117页 |
| ·微机械陀螺驱动接口电路 | 第89-94页 |
| ·驱动电路概述 | 第89-90页 |
| ·开环电磁驱动电路设计与测试 | 第90-91页 |
| ·驱动反馈电路设计与测试 | 第91-94页 |
| ·微机械陀螺检测接口电路 | 第94-100页 |
| ·检测电路概述 | 第94-95页 |
| ·介观压阻检测电路设计与测试 | 第95-100页 |
| ·微机械陀螺性能测试 | 第100-115页 |
| ·RTS 性能测试 | 第101-104页 |
| ·驱动方向初步特性测试 | 第104-109页 |
| ·检测方向初步特性测试 | 第109-112页 |
| ·哥氏效应初步测试 | 第112-115页 |
| ·本章小结 | 第115-117页 |
| 总结和展望 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-126页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128页 |
