| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| ·课题的研究意义 | 第7-8页 |
| ·微定位技术的国内外研究现状 | 第8-17页 |
| ·微定位系统的组成 | 第8-9页 |
| ·压电驱动的微定位平台机构研究现状 | 第9-14页 |
| ·驱动电源研究现状 | 第14-17页 |
| ·本文主要内容 | 第17-19页 |
| 2 微定位工作台定位原理与位姿控制模型 | 第19-25页 |
| ·微定位工作台定位原理 | 第19-23页 |
| ·位姿控制模型 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 微定位工作台位姿控制模型计算与验证 | 第25-43页 |
| ·MATLAB 模型计算 | 第25-34页 |
| ·MATLAB 概述 | 第25-26页 |
| ·控制模型计算 | 第26-34页 |
| ·ANSYS 模型验证 | 第34-40页 |
| ·ANSYS 概述 | 第34页 |
| ·ANSYS 基本构架 | 第34-35页 |
| ·实体模型的建立 | 第35-36页 |
| ·网格划分 | 第36-38页 |
| ·结构静力分析 | 第38-40页 |
| ·位姿控制模型验证 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 4 PZT 微驱动器的复合控制方法研究 | 第43-63页 |
| ·压电陶瓷微驱动器 | 第43-47页 |
| ·压电陶瓷微驱动器特性分析及实验 | 第47-50页 |
| ·压电陶瓷微驱动器复合控制 | 第50页 |
| ·Preisach 迟滞控制模型 | 第50-55页 |
| ·Preisach 模型原理 | 第50-52页 |
| ·Preisach 模型的编程 | 第52-55页 |
| ·PID 反馈控制 | 第55-58页 |
| ·PID 控制器控制原理 | 第55-56页 |
| ·PID 参数整定 | 第56页 |
| ·积分分离PID 控制算法 | 第56-57页 |
| ·基于单个PZT 的积分分离PID 反馈控制的编程实现 | 第57-58页 |
| ·单个PZT 前馈反馈控制实验 | 第58-61页 |
| ·单个PZT 的前馈反馈控制过程 | 第58-60页 |
| ·实验结果 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 5 PZT 微驱动器驱动电源的设计 | 第63-72页 |
| ·驱动电源的技术要求 | 第63页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的设计 | 第63-66页 |
| ·驱动电源高压放大电路的仿真 | 第66-71页 |
| ·电源的线性度和误差 | 第67-68页 |
| ·对阶跃信号的响应 | 第68-69页 |
| ·静态功耗 | 第69页 |
| ·PCB 板设计与制板 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 6 全文总结 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录 | 第80-86页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第80-81页 |
| B. PZT 微驱动器电压－位移特性实测曲线 | 第81-86页 |