| 致谢 | 第1-6页 |
| 全文摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目次 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| ·论文研究的背景与意义 | 第12页 |
| ·微纳定位平台系统的构成 | 第12-16页 |
| ·微纳定位平台系统的结构 | 第12-13页 |
| ·微位移驱动器及其特点 | 第13-14页 |
| ·微位移执行机构及其特点 | 第14-15页 |
| ·微纳驱动系统的检测方法与控制 | 第15-16页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性与微定位平台的国内外研究现状 | 第16-22页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性的国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·微纳定位平台的国内外研究现状 | 第18-22页 |
| ·论文的课题来源与主要技术要求 | 第22-23页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动器基本特性研究 | 第25-43页 |
| ·压电陶瓷驱动器的工作原理 | 第25-27页 |
| ·压电陶瓷驱动器的力——位移特性 | 第27-30页 |
| ·压电陶瓷驱动器的力——位移特性分析和预紧装置的设计 | 第27-28页 |
| ·压电陶瓷驱动器的力——位移特性实验 | 第28-30页 |
| ·压电陶瓷驱动器的电压——位移特性 | 第30-36页 |
| ·压电陶瓷驱动器的电压——位移特性分析 | 第30页 |
| ·压电陶瓷驱动器的电压——位移特性实验研究 | 第30-36页 |
| ·压电陶瓷驱动器的输出重复性 | 第36-37页 |
| ·压电陶瓷驱动器的输出蠕变特性 | 第37-41页 |
| ·压电陶瓷驱动器的蠕变特性分析 | 第37-38页 |
| ·压电陶瓷驱动器的蠕变特性实验研究 | 第38-41页 |
| ·压电陶瓷驱动器的温度特性 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模研究 | 第43-57页 |
| ·Preisach模型的建立 | 第43-46页 |
| ·Preisach模型的实现 | 第46-50页 |
| ·Preisach模型的实现方法 | 第46-47页 |
| ·线性插值函数拟合方法 | 第47-48页 |
| ·BP神经网络函数拟合方法 | 第48-50页 |
| ·Preisach模型实现方法的仿真和实验研究 | 第50-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 二维微纳定位平台结构的设计与分析 | 第57-79页 |
| ·微纳定位平台结构的总体方案设计 | 第57-60页 |
| ·微纳定位平台的设计计算 | 第60-72页 |
| ·压电陶瓷驱动器的输出位移分析 | 第60-62页 |
| ·微纳定位平台的刚度分析 | 第62-65页 |
| ·微纳定位平台的输出位移分析 | 第65-68页 |
| ·微纳定位平台的固有频率分析 | 第68-69页 |
| ·微纳定位平台的尺寸参数选择 | 第69-72页 |
| ·微纳定位平台的有限元分析 | 第72-77页 |
| ·微纳定位平台刚度的有限元分析 | 第72-73页 |
| ·微纳定位平台输出位移和应力的有限元分析 | 第73-76页 |
| ·微纳定位平台固有频率的有限元分析 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第5章 二维微纳定位平台系统的构建和实验研究 | 第79-98页 |
| ·微纳定位平台系统的构建 | 第79-81页 |
| ·微纳定位平台系统的实验研究 | 第81-96页 |
| ·X方向运动特性实验 | 第81-88页 |
| ·Y方向运动特性实验 | 第88-95页 |
| ·XY方向运动特性实验 | 第95-96页 |
| ·实验结果 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第6章 结论和展望 | 第98-101页 |
| ·结论 | 第98-100页 |
| ·展望 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 作者简历 | 第107-108页 |