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压电管式复合驱动器及其应用研究
纳米工作台机械结构优化设计
超磁致伸缩微位移系统的研究
微机电安全与解除保险机构驱动器设计
介电型EAP摆动驱动器的研究与应用
组合式石英圆柱壳体振动陀螺的研究
定子嵌入式电磁悬浮微马达的关键技术研究
基于移动LIGA光刻技术的微针研究
光学微纳结构的制备方法及应用研究
微机电陀螺工艺允差分析及优化设计
屈曲型微驱动器的设计与分析
柔顺偏摆微动台结构设计及控制方法研究
安全仪表系统安全完整性等级评估技术研究
基于网络的虚拟实验平台的设计与实现
基于显微视觉反馈的自动化超声微操纵技术研究
微流道内的空化研究
宏微双驱动高精度二维运动平台的实现
基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
金属波纹管虚拟设计系统开发
多晶铜微梁构件内部应力和强度影响因素的研究
金属微器件制作及微电铸铸层结合强度研究
基于SU-8胶的电喷雾聚焦电极微制作工艺研究
灰度掩膜图的设计系统研究
蓝紫光敏感硅光电探测器的设计与制作
电喷雾测试与离子检测电极的工艺研究
基于气孔蒸腾机理的仿生微流控泵
纳米级微定位平台的设计和实验研究
磁—压电作用旋转驱动器作用机理与试验研究
基于超声辐射力场的微构件非接触操纵关键技术的研究
微板多物理场耦合非线性动力学研究
微流体脉冲驱动—控制基础实验研究
微针的制备与应用研究
基于拮抗原理的仿生致动元件设计
微悬臂梁机电系统的动力学特性研究
三自由度磁致伸缩驱动平台建模仿真与控制研究
面向加速度检测的MEMS微环谐振腔传感关键技术研究
高精度大行程柔性位移平台技术研究
大行程结构一体化二维微定位台参数化设计及实验
平面三自由度柔顺微定位平台结构与设计研究
面向角速度传感的高Q值微谐振腔及其耦合结构关键技术研究
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