直线驱动式精密静压气浮平台的稳定性分析与实验研究
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-7页 |
目录 | 第7-10页 |
CONTENTS | 第10-13页 |
第一章 绪论 | 第13-18页 |
·课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
·国内外气浮导轨及静压气浮平台的研究现状 | 第14-16页 |
·国内外静压气浮平台研究成果 | 第14页 |
·国外静压气浮平台的研究概况 | 第14-15页 |
·国内静压气浮平台的研究概况 | 第15-16页 |
·本课题的来源、研究内容与特色 | 第16-18页 |
·本课题的来源及研究内容 | 第16-17页 |
·本课题的研究特色 | 第17-18页 |
第二章 气体润滑理论与静压气浮平台的气膜流场分析 | 第18-35页 |
·气体润滑介绍 | 第18-23页 |
·气体润滑原理 | 第18页 |
·气浮轴承的缺点 | 第18-19页 |
·节流器及节流原理 | 第19-21页 |
·气体润滑基本方程式 | 第21-23页 |
·静压气浮平台的气膜流场分析 | 第23-29页 |
·静压气浮平台的结构 | 第23-24页 |
·气浮模块结构 | 第24-25页 |
·气膜的压力分布仿真及结果分析 | 第25-29页 |
·承载性能实验 | 第29-34页 |
·涡流位移传感器标定 | 第29-32页 |
·气膜承载力和刚度测试 | 第32-34页 |
·本章小结 | 第34-35页 |
第三章 均压槽对导轨承载性能的影响分析 | 第35-43页 |
·均压槽模型 | 第35-36页 |
·均压槽宽度对平台承载性能的影响 | 第36-40页 |
·均压槽深度对平台承载性能的影响 | 第40-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
第四章 静压气浮平台稳定性分析 | 第43-70页 |
·气锤自激现象研究分析 | 第43-55页 |
·气锤自激现象 | 第43页 |
·气锤自激理论分析 | 第43-44页 |
·气锤自激数值分析 | 第44-51页 |
·气锤自激的数值仿真 | 第51-55页 |
·静压气浮平台微振动分析 | 第55-65页 |
·气浮微振动现象 | 第55-56页 |
·气浮微振动的成因 | 第56-57页 |
·气浮微振动的影响因素 | 第57-65页 |
·气浮平台稳定性的实验测试 | 第65-68页 |
·实验平台 | 第65页 |
·实验测试及结果分析 | 第65-68页 |
·本章小结 | 第68-70页 |
第五章 静压气浮平台改进方案 | 第70-75页 |
·均压槽的尺寸选择 | 第70-71页 |
·气腔直径的选择 | 第71-72页 |
·节流孔直径的选择 | 第72-74页 |
·本章小结 | 第74-75页 |
总结与展望 | 第75-77页 |
参考文献 | 第77-81页 |
攻读学位期间发表论文 | 第81-83页 |
致谢 | 第83-84页 |
附录1 | 第84-86页 |