扭臂式MEMS光开关的建模与优化
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外发展现状 | 第7-11页 |
| ·本文的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 MEMS 光开关的工作原理和结构 | 第13-19页 |
| ·概述 | 第13页 |
| ·MEMS光开关结构 | 第13-15页 |
| ·二维结构与三维结构 | 第13-14页 |
| ·扭转型和移动型 | 第14-15页 |
| ·MEMS光开关的驱动 | 第15-16页 |
| ·梳齿式光开关 | 第15页 |
| ·悬臂梁式光开关 | 第15-16页 |
| ·扭臂式光开关 | 第16页 |
| ·扭臂式光开关基本结构与工作原理 | 第16-19页 |
| ·基本结构 | 第17页 |
| ·工作原理 | 第17-19页 |
| 第三章 扭臂式光开关的建模 | 第19-33页 |
| ·拉格朗日运动方程 | 第19-24页 |
| ·达朗贝尔原理 | 第19页 |
| ·虚位移原理 | 第19-20页 |
| ·广义坐标 | 第20-21页 |
| ·哈密顿（Hamilton）原理 | 第21-23页 |
| ·拉格朗日运动方程 | 第23-24页 |
| ·光开关模型的建立 | 第24-27页 |
| ·建立光开关数学模型 | 第24-25页 |
| ·转动惯量和扭转角刚度 | 第25页 |
| ·阻尼系数 | 第25-26页 |
| ·静电力矩 | 第26-27页 |
| ·扭臂式光开关的模态分析 | 第27-32页 |
| ·基于动力学方程的模态分析 | 第27-29页 |
| ·有限元模态分析 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 光开关结构参数与性能的关系 | 第33-43页 |
| ·开关结构参数、驱动电压与偏转角度的关系 | 第33-36页 |
| ·开关结构参数与时间的关系 | 第36-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第五章 优化设计 | 第43-57页 |
| ·参数优化 | 第43-47页 |
| ·目标函数 | 第43-44页 |
| ·约束条件 | 第44页 |
| ·遗传算法 | 第44-45页 |
| ·优化结果 | 第45-47页 |
| ·改进下极板 | 第47-52页 |
| ·下极板倾斜对驱动电压的影响 | 第47-50页 |
| ·下极板倾斜对响应时间的影响 | 第50-52页 |
| ·驱动电压优化 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·工作总结 | 第57页 |
| ·工作展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
