SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-17页 |
| ·微夹钳的设计 | 第9-14页 |
| ·微夹钳的制作 | 第14-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-18页 |
| 2 柔性机构的拓扑优化设计 | 第18-39页 |
| ·拓扑优化设计过程 | 第18-21页 |
| ·基于SIMP插值模型的拓扑优化 | 第18-20页 |
| ·设计流程 | 第20-21页 |
| ·数值计算方法与常见数值问题 | 第21-24页 |
| ·优化算法 | 第21-22页 |
| ·常见数值问题与消除方法 | 第22-24页 |
| ·目标函数模型 | 第24-29页 |
| ·输出位移模型 | 第24-26页 |
| ·MSE/SE模型 | 第26-28页 |
| ·机械增益模型 | 第28-29页 |
| ·设计算例与比较 | 第29-36页 |
| ·三维柔性机构设计 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 柔性微夹钳的设计与有限元仿真 | 第39-51页 |
| ·最大输出位移的微夹钳设计 | 第39-45页 |
| ·微夹钳结构设计 | 第39-42页 |
| ·有限元仿真 | 第42-45页 |
| ·最大MSE/SE的微夹钳设计 | 第45-50页 |
| ·微夹钳结构设计 | 第45-49页 |
| ·有限元仿真 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 SU-8胶微夹钳的制作工艺 | 第51-68页 |
| ·SU-8胶材料微夹钳 | 第51-52页 |
| ·SU-8胶微夹钳驱动器结构研究 | 第52-56页 |
| ·金属层在两面的微夹钳制作工艺 | 第56-61页 |
| ·掩膜版设计 | 第56-57页 |
| ·制作工艺流程 | 第57-60页 |
| ·实验结果 | 第60-61页 |
| ·金属层在中间的微夹钳制作工艺 | 第61-64页 |
| ·制作工艺流程 | 第61-63页 |
| ·实验结果 | 第63-64页 |
| ·微夹钳驱动实验 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录A 掩膜版CAD图 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
