基于压电驱动的摩擦式微位移工作台的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·研究课题的背景和意义 | 第9-10页 |
| ·微位移工作台概述 | 第10-20页 |
| ·微位移工作台 | 第10-11页 |
| ·微位移工作台的驱动形式 | 第11-16页 |
| ·微位移工作台的支撑形式 | 第16-20页 |
| ·国内外对摩擦驱动微位移工作台的研究状况 | 第20-24页 |
| ·摩擦驱动微位移工作台的设计原理 | 第20-21页 |
| ·国内外微位移工作台的研究状况 | 第21-24页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 2 微位移工作台的静力学分析 | 第25-48页 |
| ·微位移工作台系统的整体构成 | 第25-27页 |
| ·微位移工作台的工作原理 | 第27-29页 |
| ·微位移工作台驱动机构的静力学结构分析 | 第29-47页 |
| ·椭圆形增益结构分析 | 第29-34页 |
| ·柔性臂结构分析 | 第34-37页 |
| ·单稳态结构柔性铰链分析 | 第37-43页 |
| ·微位移工作台整体结构静力学分析和模态分析 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 3 微位移工作台驱动系统的动力学分析 | 第48-65页 |
| ·微位移工作台驱动系统动力学模型的建立 | 第48-49页 |
| ·动力学模型分析 | 第49-50页 |
| ·动力学模型仿真 | 第50-64页 |
| ·"粘滞一滑动"摩擦模型 | 第50-53页 |
| ·"粘滞一滑动"摩擦模型仿真 | 第53-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 4 微位移工作台实验设计与研究 | 第65-80页 |
| ·实验装置和实验内容 | 第65-71页 |
| ·实验主要装置说明 | 第65-71页 |
| ·实验内容说明 | 第71页 |
| ·实验结果与现象 | 第71-77页 |
| ·摩擦正压力调整实验 | 第71-74页 |
| ·摩擦系数调整实验 | 第74-76页 |
| ·单步位移驱动参数实验 | 第76-77页 |
| ·实验结果分析 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 5 微位移工作台系统精度误差分析 | 第80-86页 |
| ·微位移工作台的误差分析 | 第80-84页 |
| ·压电陶瓷驱动器位移输出特性引起的误差 | 第80-82页 |
| ·导向装置误差 | 第82-83页 |
| ·阿贝误差 | 第83-84页 |
| ·减小误差方法和实验 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 结论与展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-89页 |
| 附录A 微位移工作台机械设计制造结构图 | 第89-93页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
