考虑漏电场的扭转式微执行器Pull-in机理分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·MEMS 技术的概述 | 第8-10页 |
| ·MEMS 简述 | 第8-9页 |
| ·MEMS 主要研究内容 | 第9-10页 |
| ·MEMS 的研究现状 | 第10页 |
| ·静电微执行器的概述 | 第10-12页 |
| ·微执行器的比较 | 第10-12页 |
| ·静电驱动微执行 | 第12页 |
| ·PULL-IN 现象 | 第12页 |
| ·论文的主要工作和创新点 | 第12-13页 |
| ·论文的结构安排 | 第13-15页 |
| 第二章 静电微执行器的PULL-IN 机理 | 第15-28页 |
| ·力矩法 | 第15-24页 |
| ·平行式微执行器的失稳模型 | 第15-18页 |
| ·扭转式微执行器的失稳模型 | 第18-22页 |
| ·电极的位置对微执行器参数的影响 | 第22-24页 |
| ·能量法 | 第24-27页 |
| ·能量法概述 | 第24-25页 |
| ·扭转式微执行器的pull-in 参数 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 考虑边缘效应的扭转式微执行器模型 | 第28-39页 |
| ·引言 | 第28-31页 |
| ·保角变换 | 第29-30页 |
| ·保角应用 | 第30-31页 |
| ·SCHWARZ-CHRISTOFFEL 变换 | 第31-35页 |
| ·概述 | 第31-32页 |
| ·边缘电场效应 | 第32-35页 |
| ·电容模型 | 第35页 |
| ·扭转式微执行器的漏电场模型 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 考虑边缘效应的PULL-IN 现象 | 第39-57页 |
| ·考虑宽度边缘效应 | 第39-40页 |
| ·考虑长度边缘效应 | 第40-44页 |
| ·考虑长度及宽度的边缘效应 | 第44-50页 |
| ·模型4 的PULL-IN 机理分析 | 第50-53页 |
| ·考虑厚度边缘效应 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 有限元分析 | 第57-67页 |
| ·有限元分析方法 | 第57-59页 |
| ·二维有限元法 | 第59-60页 |
| ·微执行器的模型建模 | 第60-63页 |
| ·ANSYS 仿真结果与比较 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结和展望 | 第67-69页 |
| ·工作总结 | 第67-68页 |
| ·工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 作者在硕士研究生期间发表论文情况 | 第73页 |
