| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·超声辐射力理论的发展 | 第10-11页 |
| ·国内外超声分离的研究情况 | 第11-17页 |
| ·本课题组的前期工作 | 第17-18页 |
| ·本文的内容 | 第18-19页 |
| 第二章 超声分离原理及 MEMS 超声分离器 | 第19-34页 |
| ·超声分离原理 | 第19-28页 |
| ·流体中悬浮颗粒所受的声辐射力 | 第21-26页 |
| ·利用平面驻波和层流分离悬浮颗粒的原理 | 第26-28页 |
| ·MEMS 超声分离器 | 第28-34页 |
| ·多层谐振结构的分离器模型 | 第28-29页 |
| ·基于平面驻波的 MEMS 超声分离器 | 第29-30页 |
| ·基于二维简正模式的 MEMS 超声分离器 | 第30-34页 |
| 第三章 MEMS 超声分离器流体腔二维简正模式的谐振频率研究 | 第34-47页 |
| ·MEMS 超声分离器流体腔的二维等效电路模型研究 | 第34-42页 |
| ·声电类比原理 | 第34-38页 |
| ·超声分离器流体腔的二维等效电路模型 | 第38-41页 |
| ·超声分离器流体腔二维简正模式的谐振频率研究 | 第41-42页 |
| ·超声分离器流体腔二维简正模态的有限元仿真分析 | 第42-47页 |
| 第四章 基于二维简正模式的 MEMS 超声分离器的设计及制作 | 第47-60页 |
| ·MEMS 超声分离器的结构设计 | 第47-53页 |
| ·MEMS 超声分离器的出入口设计 | 第47-48页 |
| ·MEMS 超声分离器的分离腔设计 | 第48-49页 |
| ·MEMS 超声分离器的尺寸设计 | 第49-53页 |
| ·MEMS 超声分离器的制作工艺研究 | 第53-56页 |
| ·MEMS 超声分离器腔体的制作 | 第53-55页 |
| ·MEMS 超声分离器入出口的制作 | 第55-56页 |
| ·MEMS 超声分离器反射层的制作 | 第56页 |
| ·制作的 MEMS 超声分离器 | 第56-60页 |
| 第五章 超声分离实验研究 | 第60-73页 |
| ·超声分离实验平台 | 第60-66页 |
| ·分离器及管路系统 | 第60-63页 |
| ·分离腔中简正波的激发 | 第63-64页 |
| ·分离效果观察记录装置 | 第64-65页 |
| ·悬浮液准备 | 第65-66页 |
| ·超声分离实验研究 | 第66-73页 |
| ·单片和双片 PZT 驱动的超声分离实验 | 第66-68页 |
| ·分离实验效果的影响因素 | 第68-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
