面向微流控芯片的压电无阀微泵的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·微泵研究的近况 | 第11-17页 |
| ·微泵的分类 | 第11-12页 |
| ·有阀微泵 | 第12-14页 |
| ·无阀微泵 | 第14-17页 |
| ·微流控集成化研究的现状 | 第17-18页 |
| ·本课题的研究概述 | 第18-22页 |
| ·课题的来源和介绍 | 第18-20页 |
| ·本文的主要内容 | 第20-22页 |
| 2 无阀微泵的原理及设计 | 第22-36页 |
| ·无阀微泵的工作原理与流量分析 | 第22-27页 |
| ·无阀微泵的工作原理 | 第22-23页 |
| ·无阀微泵的流量分析 | 第23-27页 |
| ·压电材料的研究 | 第27-30页 |
| ·压电效应和压电材料 | 第27-28页 |
| ·压电蜂鸣片的结构和特性 | 第28-29页 |
| ·压电蜂鸣片的固定方式 | 第29-30页 |
| ·压电无阀微泵样机的结构设计 | 第30-35页 |
| ·扩张管/收缩管的结构和特性 | 第30-32页 |
| ·扩张管/收缩管的优化设计 | 第32-34页 |
| ·微泵整体结构的设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 玻璃微加工工艺 | 第36-48页 |
| ·微流控加工技术的背景 | 第36-39页 |
| ·微流控芯片的材料 | 第36页 |
| ·光刻和刻蚀技术 | 第36-37页 |
| ·高分子聚合物的微加工技术 | 第37-38页 |
| ·键合技术 | 第38-39页 |
| ·玻璃及其性质 | 第39页 |
| ·玻璃湿法刻蚀工艺 | 第39-46页 |
| ·掩模制备和光刻 | 第39-40页 |
| ·玻璃湿法蚀刻 | 第40-41页 |
| ·玻璃微加工的工艺流程 | 第41-43页 |
| ·玻璃湿法刻蚀工艺的改进 | 第43-46页 |
| ·玻璃键合工艺 | 第46-47页 |
| ·玻璃与玻璃的热键合 | 第46页 |
| ·玻璃与PDMS的等离子辅助键合 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 微泵样机的研制及性能测试 | 第48-61页 |
| ·微泵样机的制作 | 第48-51页 |
| ·微泵结构参数的设定 | 第48-49页 |
| ·基片的制作 | 第49-50页 |
| ·盖片的制作 | 第50页 |
| ·泵体的封装 | 第50-51页 |
| ·高压压电陶瓷驱动电源的研制 | 第51-56页 |
| ·压电驱动电源的组成 | 第51-52页 |
| ·高压稳压模块 | 第52-53页 |
| ·信号发生模块 | 第53-54页 |
| ·高压放大模块 | 第54-56页 |
| ·无阀微泵的性能测试 | 第56-60页 |
| ·测试实验平台 | 第56页 |
| ·压电振子性能的分析 | 第56-57页 |
| ·微泵流量与频率 | 第57-58页 |
| ·微泵流量与电压 | 第58-59页 |
| ·微泵流量与背压 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 微泵的集成化应用 | 第61-73页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·集成微流控芯片的研究 | 第61-67页 |
| ·微流控芯片的研究现状 | 第61-62页 |
| ·芯片电泳工作原理 | 第62-64页 |
| ·集成微泵式电泳芯片的设计 | 第64-66页 |
| ·集成微泵式电泳芯片的制作 | 第66-67页 |
| ·集成微流控芯片总结 | 第67页 |
| ·集成微冷却系统的研究 | 第67-71页 |
| ·微冷却技术的研究现状 | 第67-68页 |
| ·微冷却技术的制冷机理 | 第68-69页 |
| ·微冷却系统的设计 | 第69-71页 |
| ·微冷却系统总结 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 6 总结与展望 | 第73-76页 |
| ·本文的主要研究成果 | 第73-74页 |
| ·后续研究的展望与建议 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 作者简历及在学期间取得的科研成果 | 第82页 |
