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SiC单晶片研磨机理及材料去除率研究
SiC单晶体超声线锯切割技术及实验研究
SiC单晶片研磨过程材料去除率建模及实验研究
SiC单晶基片固结磨粒摩擦化学机械研磨研究
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KDP晶体潮解抛光的实验研究
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碲锌镉晶片高效低损伤加工工艺的研究
氟化钙晶体纳米切削加工多尺度仿真研究
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