| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.3 蓝宝石的研磨加工机理 | 第11-13页 |
| 1.4 蓝宝石的研磨加工方法 | 第13-20页 |
| 1.4.1 传统游离磨料研磨 | 第13-16页 |
| 1.4.2 固结磨料研磨 | 第16-18页 |
| 1.4.3 双面研磨 | 第18-19页 |
| 1.4.4 固结软磨料研磨 | 第19-20页 |
| 1.5 损伤检测技术 | 第20-22页 |
| 1.5.1 破坏性检测 | 第20-21页 |
| 1.5.2 非破坏性检测 | 第21-22页 |
| 1.6 论文结构 | 第22页 |
| 1.7 本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 蓝宝石超精密研磨加工的材料去除率 | 第23-33页 |
| 2.1 实验设备与实验方案 | 第23-28页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第23-26页 |
| 2.1.2 实验步骤与方案 | 第26-28页 |
| 2.2 关于材料去除率的实验结果分析 | 第28-29页 |
| 2.3 工艺参数对蓝宝石材料去除率影响 | 第29-32页 |
| 2.3.1 关于材料去除率的单因素实验研究 | 第30-31页 |
| 2.3.2 单因素实验的结果分析 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 蓝宝石超精密研磨加工的表面质量 | 第33-49页 |
| 3.1 蓝宝石超精密研磨加工的表面损伤形式 | 第33-34页 |
| 3.2 关于表面粗糙度的实验结果分析 | 第34-35页 |
| 3.3 不同晶向蓝宝石表面形貌对比 | 第35-39页 |
| 3.3.1 不同晶向蓝宝石二维表面形貌对比 | 第35-36页 |
| 3.3.2 不同晶向蓝宝石三维表面形貌对比 | 第36-39页 |
| 3.4 蓝宝石超精密研磨加工的表面破碎率 | 第39-44页 |
| 3.4.1 蓝宝石材料表面破碎损伤的评价指标 | 第39-40页 |
| 3.4.2 蓝宝石表面破碎的图像处理 | 第40-42页 |
| 3.4.3 蓝宝石表面破碎率的计算 | 第42-44页 |
| 3.5 工艺参数对表面破碎率的影响 | 第44-47页 |
| 3.5.1 研磨液流量对表面破碎率的影响 | 第45-46页 |
| 3.5.2 上游星轮转速对表面破碎率的影响 | 第46页 |
| 3.5.3 下研磨盘转速对表面破碎率的影响 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 蓝宝石超精密研磨加工的亚表面损伤 | 第49-61页 |
| 4.1 蓝宝石的亚表面损伤形式 | 第49-51页 |
| 4.1.1 蓝宝石的亚表面损伤机理 | 第49-50页 |
| 4.1.2 蓝宝石亚表面裂纹损伤的评价指标 | 第50-51页 |
| 4.2 蓝宝石超精密研磨加工亚表面裂纹损伤的检测 | 第51-54页 |
| 4.2.1 蓝宝石超精密研磨加工亚表面损伤检测步骤 | 第51-52页 |
| 4.2.2 蓝宝石超精密研磨加工亚表面裂纹的检测结果 | 第52-54页 |
| 4.3 不同晶向蓝宝石的亚表面裂纹损伤 | 第54-57页 |
| 4.3.1 不同晶向蓝宝石的亚表面裂纹损伤观测结果 | 第54-56页 |
| 4.3.2 不同晶向蓝宝石亚表面裂纹损伤产生的原因 | 第56-57页 |
| 4.4 工艺参数参数对蓝宝石亚表面损伤深度的影响 | 第57-59页 |
| 4.4.1 研磨液流量对蓝宝石亚表面损伤深度的影响 | 第58页 |
| 4.4.2 上游星轮转速对蓝宝石亚表面损伤深度的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.3 下研磨盘转速对蓝宝石亚表面损伤深度的影响 | 第59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 论文总结 | 第61-62页 |
| 5.2 研究展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 ：攻读学位期间发表论文目录 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
