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混合磨料柔性抛光工具加工蓝宝石衬底技术研究

摘要第4-6页
abstract第6-8页
第1章 绪论第13-27页
    1.1 研究背景及意义第13页
    1.2 单晶蓝宝石的材料特性第13-16页
        1.2.1 单晶蓝宝石的晶体结构第13-14页
        1.2.2 单晶蓝宝石的物理特性第14-15页
        1.2.3 单晶蓝宝石的化学特性第15-16页
    1.3 蓝宝石衬底超精密加工技术研究现状第16-21页
        1.3.1 蓝宝石衬底超精密加工流程第16-17页
        1.3.2 蓝宝石衬底超精密抛光技术第17-19页
        1.3.3 蓝宝石衬底机械化学抛光技术第19-21页
    1.4 存在的问题与主要研究内容第21-27页
        1.4.1 半固结柔性抛光工具第21-24页
        1.4.2 论文的研究思路第24-25页
        1.4.3 论文组成部分及主要研究内容第25-27页
第2章 软硬混合磨料的选择第27-53页
    2.1 软质磨料的选择条件第27-31页
        2.1.1 软质磨料硬度的要求第27-28页
        2.1.2 软质磨料反应活性的要求第28-30页
        2.1.3 软质磨料的其它要求第30-31页
    2.2 软质磨料的选择第31-46页
        2.2.1 吉布斯自由能变计算第31-35页
        2.2.2 反应活性模拟验证试验第35-40页
        2.2.3 反应活性验证加工试验第40-46页
    2.3 硬质磨料的选择条件第46-47页
        2.3.1 硬质磨料硬度的要求第46-47页
        2.3.2 硬质磨料材料去除能力的要求第47页
    2.4 硬质磨料的选择第47-51页
        2.4.1 硬质磨料选择的试验条件第47-48页
        2.4.2 金刚石磨料的加工性能第48-50页
        2.4.3 氧化铝磨料的加工性能第50-51页
    2.5 本章小结第51-53页
第3章 混合磨料抛光盘制备工艺及其加工性能分析第53-75页
    3.1 混合磨料加工试验条件第53-55页
        3.1.1 混合磨料抛光盘的制备第53-54页
        3.1.2 混合磨料加工性能的评价和研究方法第54页
        3.1.3 混合磨料加工性能的试验条件第54-55页
    3.2 混合磨料的抛光工艺试验结果第55-66页
        3.2.1 纯活性软磨料的加工性能第55-56页
        3.2.2 W3金刚石为硬磨料的加工性能第56-60页
        3.2.3 W1金刚石为硬磨料的加工性能第60-63页
        3.2.4 W0.2金刚石为硬磨料的加工性能第63-66页
    3.3 混合磨料加工性能的对比分析第66-68页
    3.4 混合磨料材料去除机理分析第68-72页
        3.4.1 纯活性软磨料加工后的磨屑分析第68-69页
        3.4.2 纯硬质磨料加工后的磨屑分析第69-70页
        3.4.3 混合磨料加工后的磨屑分析第70-72页
    3.5 混合磨料材料去除模型的建立第72-73页
    3.6 本章小结第73-75页
第4章 促进反应活性的抛光工艺及其加工性能分析第75-104页
    4.1 促进反应活性的加工试验条件第75-79页
    4.2 原工艺混合磨料加工性能分析第79-80页
    4.3 表面改性促进反应活性加工试验第80-88页
        4.3.1 高反应活性纳米二氧化硅的制备第80-82页
        4.3.2 高反应活性纳米二氧化硅的表征第82-85页
        4.3.3 高活性软磨料时的混合磨料加工性能第85-88页
    4.4 化学试剂促进反应活性加工试验第88-94页
        4.4.1 化学试剂促进反应活性机理第88页
        4.4.2 化学试剂1对抛光盘属性的影响第88-89页
        4.4.3 化学试剂1促进反应活性的混合磨料加工性能第89-91页
        4.4.4 化学试剂2对抛光盘属性的影响第91-92页
        4.4.5 化学试剂2促进反应活性的混合磨料加工性能第92-94页
    4.5 生物试剂促进反应活性加工试验第94-100页
        4.5.1 生物试剂促进反应活性机理第94页
        4.5.2 生物试剂1对抛光盘属性的影响第94-95页
        4.5.3 生物试剂1促进反应活性的混合磨料加工性能第95-97页
        4.5.4 生物试剂2对抛光盘属性的影响第97-99页
        4.5.5 生物试剂2促进反应活性的混合磨料加工性能第99-100页
    4.6 促进反应活性的混合磨料加工性能分析第100-102页
    4.7 本章小结第102-104页
第5章 复合磨料制备工艺及其加工性能分析第104-130页
    5.1 核壳结构复合磨料概述第104-105页
        5.1.1 复合磨料简介第104页
        5.1.2 核壳结构复合磨料加工研究现状第104-105页
    5.2 原始水解涂覆体系的确立第105-109页
        5.2.1 原始水解体系参数第105-108页
        5.2.2 水解产物物相的确定第108-109页
    5.3 复合磨料的制备工艺第109-118页
        5.3.1 金刚石/二氧化硅复合磨料的制备第110-112页
        5.3.2 金刚石/羟基氧化铁复合磨料的制备第112-118页
    5.4 复合磨料的表征第118-122页
        5.4.1 XRD的表征第118-119页
        5.4.2 复合磨料红外光谱的表征第119-120页
        5.4.3 复合磨料粒度的表征第120-121页
        5.4.4 复合磨料的热重分析第121-122页
    5.5 复合磨料的加工性能第122-128页
        5.5.1 复合磨料加工性能的试验条件第122页
        5.5.2 复合磨料加工性能分析第122-124页
        5.5.3 复合磨料对加工性能的影响机制第124-128页
    5.6 本章小结第128-130页
第6章 混合磨料抛光工艺的加工性能评价第130-141页
    6.1 铜抛与SG抛光工具加工性能对比第130-132页
        6.1.1 铜抛与SG抛光工具加工后的表面形貌第130-131页
        6.1.2 铜抛与SG抛光工具加工后的亚表面损伤第131-132页
    6.2 促进反应活性作用下混合磨料加工性能对比第132-133页
        6.2.1 促进反应活性作用下混合磨料的材料去除率第132页
        6.2.2 促进反应活性作用下混合磨料的表面粗糙度Sa第132-133页
    6.3 蓝宝石衬底抛光工艺链的优化第133-139页
    6.4 本章小结第139-141页
第7章 总结与展望第141-143页
    7.1 总结第141-142页
    7.2 展望第142-143页
参考文献第143-151页
致谢第151-153页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第153-154页

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