| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第13页 |
| 1.2 单晶蓝宝石的材料特性 | 第13-16页 |
| 1.2.1 单晶蓝宝石的晶体结构 | 第13-14页 |
| 1.2.2 单晶蓝宝石的物理特性 | 第14-15页 |
| 1.2.3 单晶蓝宝石的化学特性 | 第15-16页 |
| 1.3 蓝宝石衬底超精密加工技术研究现状 | 第16-21页 |
| 1.3.1 蓝宝石衬底超精密加工流程 | 第16-17页 |
| 1.3.2 蓝宝石衬底超精密抛光技术 | 第17-19页 |
| 1.3.3 蓝宝石衬底机械化学抛光技术 | 第19-21页 |
| 1.4 存在的问题与主要研究内容 | 第21-27页 |
| 1.4.1 半固结柔性抛光工具 | 第21-24页 |
| 1.4.2 论文的研究思路 | 第24-25页 |
| 1.4.3 论文组成部分及主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 软硬混合磨料的选择 | 第27-53页 |
| 2.1 软质磨料的选择条件 | 第27-31页 |
| 2.1.1 软质磨料硬度的要求 | 第27-28页 |
| 2.1.2 软质磨料反应活性的要求 | 第28-30页 |
| 2.1.3 软质磨料的其它要求 | 第30-31页 |
| 2.2 软质磨料的选择 | 第31-46页 |
| 2.2.1 吉布斯自由能变计算 | 第31-35页 |
| 2.2.2 反应活性模拟验证试验 | 第35-40页 |
| 2.2.3 反应活性验证加工试验 | 第40-46页 |
| 2.3 硬质磨料的选择条件 | 第46-47页 |
| 2.3.1 硬质磨料硬度的要求 | 第46-47页 |
| 2.3.2 硬质磨料材料去除能力的要求 | 第47页 |
| 2.4 硬质磨料的选择 | 第47-51页 |
| 2.4.1 硬质磨料选择的试验条件 | 第47-48页 |
| 2.4.2 金刚石磨料的加工性能 | 第48-50页 |
| 2.4.3 氧化铝磨料的加工性能 | 第50-51页 |
| 2.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第3章 混合磨料抛光盘制备工艺及其加工性能分析 | 第53-75页 |
| 3.1 混合磨料加工试验条件 | 第53-55页 |
| 3.1.1 混合磨料抛光盘的制备 | 第53-54页 |
| 3.1.2 混合磨料加工性能的评价和研究方法 | 第54页 |
| 3.1.3 混合磨料加工性能的试验条件 | 第54-55页 |
| 3.2 混合磨料的抛光工艺试验结果 | 第55-66页 |
| 3.2.1 纯活性软磨料的加工性能 | 第55-56页 |
| 3.2.2 W3金刚石为硬磨料的加工性能 | 第56-60页 |
| 3.2.3 W1金刚石为硬磨料的加工性能 | 第60-63页 |
| 3.2.4 W0.2金刚石为硬磨料的加工性能 | 第63-66页 |
| 3.3 混合磨料加工性能的对比分析 | 第66-68页 |
| 3.4 混合磨料材料去除机理分析 | 第68-72页 |
| 3.4.1 纯活性软磨料加工后的磨屑分析 | 第68-69页 |
| 3.4.2 纯硬质磨料加工后的磨屑分析 | 第69-70页 |
| 3.4.3 混合磨料加工后的磨屑分析 | 第70-72页 |
| 3.5 混合磨料材料去除模型的建立 | 第72-73页 |
| 3.6 本章小结 | 第73-75页 |
| 第4章 促进反应活性的抛光工艺及其加工性能分析 | 第75-104页 |
| 4.1 促进反应活性的加工试验条件 | 第75-79页 |
| 4.2 原工艺混合磨料加工性能分析 | 第79-80页 |
| 4.3 表面改性促进反应活性加工试验 | 第80-88页 |
| 4.3.1 高反应活性纳米二氧化硅的制备 | 第80-82页 |
| 4.3.2 高反应活性纳米二氧化硅的表征 | 第82-85页 |
| 4.3.3 高活性软磨料时的混合磨料加工性能 | 第85-88页 |
| 4.4 化学试剂促进反应活性加工试验 | 第88-94页 |
| 4.4.1 化学试剂促进反应活性机理 | 第88页 |
| 4.4.2 化学试剂1对抛光盘属性的影响 | 第88-89页 |
| 4.4.3 化学试剂1促进反应活性的混合磨料加工性能 | 第89-91页 |
| 4.4.4 化学试剂2对抛光盘属性的影响 | 第91-92页 |
| 4.4.5 化学试剂2促进反应活性的混合磨料加工性能 | 第92-94页 |
| 4.5 生物试剂促进反应活性加工试验 | 第94-100页 |
| 4.5.1 生物试剂促进反应活性机理 | 第94页 |
| 4.5.2 生物试剂1对抛光盘属性的影响 | 第94-95页 |
| 4.5.3 生物试剂1促进反应活性的混合磨料加工性能 | 第95-97页 |
| 4.5.4 生物试剂2对抛光盘属性的影响 | 第97-99页 |
| 4.5.5 生物试剂2促进反应活性的混合磨料加工性能 | 第99-100页 |
| 4.6 促进反应活性的混合磨料加工性能分析 | 第100-102页 |
| 4.7 本章小结 | 第102-104页 |
| 第5章 复合磨料制备工艺及其加工性能分析 | 第104-130页 |
| 5.1 核壳结构复合磨料概述 | 第104-105页 |
| 5.1.1 复合磨料简介 | 第104页 |
| 5.1.2 核壳结构复合磨料加工研究现状 | 第104-105页 |
| 5.2 原始水解涂覆体系的确立 | 第105-109页 |
| 5.2.1 原始水解体系参数 | 第105-108页 |
| 5.2.2 水解产物物相的确定 | 第108-109页 |
| 5.3 复合磨料的制备工艺 | 第109-118页 |
| 5.3.1 金刚石/二氧化硅复合磨料的制备 | 第110-112页 |
| 5.3.2 金刚石/羟基氧化铁复合磨料的制备 | 第112-118页 |
| 5.4 复合磨料的表征 | 第118-122页 |
| 5.4.1 XRD的表征 | 第118-119页 |
| 5.4.2 复合磨料红外光谱的表征 | 第119-120页 |
| 5.4.3 复合磨料粒度的表征 | 第120-121页 |
| 5.4.4 复合磨料的热重分析 | 第121-122页 |
| 5.5 复合磨料的加工性能 | 第122-128页 |
| 5.5.1 复合磨料加工性能的试验条件 | 第122页 |
| 5.5.2 复合磨料加工性能分析 | 第122-124页 |
| 5.5.3 复合磨料对加工性能的影响机制 | 第124-128页 |
| 5.6 本章小结 | 第128-130页 |
| 第6章 混合磨料抛光工艺的加工性能评价 | 第130-141页 |
| 6.1 铜抛与SG抛光工具加工性能对比 | 第130-132页 |
| 6.1.1 铜抛与SG抛光工具加工后的表面形貌 | 第130-131页 |
| 6.1.2 铜抛与SG抛光工具加工后的亚表面损伤 | 第131-132页 |
| 6.2 促进反应活性作用下混合磨料加工性能对比 | 第132-133页 |
| 6.2.1 促进反应活性作用下混合磨料的材料去除率 | 第132页 |
| 6.2.2 促进反应活性作用下混合磨料的表面粗糙度Sa | 第132-133页 |
| 6.3 蓝宝石衬底抛光工艺链的优化 | 第133-139页 |
| 6.4 本章小结 | 第139-141页 |
| 第7章 总结与展望 | 第141-143页 |
| 7.1 总结 | 第141-142页 |
| 7.2 展望 | 第142-143页 |
| 参考文献 | 第143-151页 |
| 致谢 | 第151-153页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第153-154页 |
