| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号说明 | 第8-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第15-17页 |
| 1.2 激光微细加工金刚石材料机理研究现状 | 第17-21页 |
| 1.2.1 激光微细加工金刚石的阈值研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.2 激光微细加工金刚石材料石墨化研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2.3 激光微细加工金刚石材料去除研究现状 | 第20-21页 |
| 1.3 激光微细加工金刚石材料的应用研究现状 | 第21-23页 |
| 1.3.1 激光抛光金刚石 | 第21-22页 |
| 1.3.2 激光加工金刚石制作光学元件 | 第22-23页 |
| 1.3.3 激光微细加工金刚石制作微结构 | 第23页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第23-25页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第23-24页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 实验系统和实验研究方案 | 第25-34页 |
| 2.1 金刚石晶体结构与样件处理 | 第25-27页 |
| 2.1.1 金刚石的晶型及物理性能参数 | 第25-27页 |
| 2.1.2 实验样件的预处理 | 第27页 |
| 2.2 实验装置与检测仪器 | 第27-32页 |
| 2.2.1 激光器 | 第28-29页 |
| 2.2.2 检测仪器 | 第29-32页 |
| 2.3 实验研究方案 | 第32-34页 |
| 2.3.1 脉冲绿激光加工CVD金刚石机理研究工艺参数选择 | 第32页 |
| 2.3.2 短脉冲紫外激光加工金刚石时工艺参数的选择 | 第32-34页 |
| 第三章 脉冲激光加工金刚石材料仿真分析 | 第34-45页 |
| 3.1 脉冲激光加工金刚石材料的物理作用过程 | 第34-36页 |
| 3.2 脉冲激光加工金刚石材料的热作用模型 | 第36-40页 |
| 3.2.1 单脉冲激光加工金刚石传热模型的建立 | 第36-38页 |
| 3.2.2 单脉冲激光加工金刚石几何模型的建立及数值求解 | 第38-39页 |
| 3.2.3 脉冲绿激光加工CVD金刚石ANSYS仿真结果 | 第39-40页 |
| 3.3 石墨化阈值及气化阈值研究 | 第40-42页 |
| 3.4 脉冲激光加工金刚石材料的热应力作用模型研究 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 脉冲绿激光微细加工CVD金刚石去除机理研究 | 第45-57页 |
| 4.1 脉冲绿激光单脉冲激光能量密度对去除过程的影响 | 第45-49页 |
| 4.2 脉冲绿激光单脉冲辐照CVD金刚石阈值研究 | 第49-53页 |
| 4.2.1 脉冲绿激光单脉冲辐照CVD金刚石石墨化阈值研究 | 第49-50页 |
| 4.2.2 脉冲绿激光单脉冲辐照CVD金刚石气化阈值研究 | 第50-53页 |
| 4.3 脉冲绿激光多脉冲辐照CVD金刚石对去除过程的影响 | 第53-56页 |
| 4.3.1 E=1.5J/cm~2时,改变脉冲个数对CVD金刚石去除过程的影响 | 第54页 |
| 4.3.2 E=7.5J/cm~2时,改变脉冲个数对CVD金刚石去除过程的影响 | 第54-55页 |
| 4.3.3 E=15.5J/cm~2时,改变脉冲个数对CVD金刚石去除过程的影响 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 短脉冲紫外激光微细加工金刚石材料工艺规律实验研究 | 第57-73页 |
| 5.1 焦点位置对划槽尺寸及质量的影响 | 第58-62页 |
| 5.2 脉冲激光能量密度对划槽尺寸及质量的影响 | 第62-65页 |
| 5.3 脉冲激光扫描速度对划槽尺寸及质量的影响 | 第65-69页 |
| 5.4 脉冲激光扫描次数对划槽尺寸及质量的影响 | 第69-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
