固结磨料线锯切割单晶硬脆材料的温度及热变形研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11页 |
| 1.2 线切割加工研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 线切割方式的研究 | 第11-12页 |
| 1.2.2 线切割温度的研究 | 第12-14页 |
| 1.2.3 线切割变形的研究 | 第14页 |
| 1.3 论文的研究思路和基本构成 | 第14-17页 |
| 1.3.1 论文的研究思路及内容 | 第14-16页 |
| 1.3.2 论文的组成部分 | 第16-17页 |
| 第2章 线切割试验方案 | 第17-27页 |
| 2.1 单线切割机简介 | 第17-18页 |
| 2.2 试样及切割工具 | 第18-19页 |
| 2.3 切割试验方案 | 第19页 |
| 2.4 锯切力的测量 | 第19-22页 |
| 2.5 切割表面温度场的测量 | 第22-24页 |
| 2.6 晶片翘曲度的测量 | 第24-25页 |
| 2.7 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 线切割蓝宝石的温度场仿真模型建立 | 第27-41页 |
| 3.1 有限元分析的基础 | 第27页 |
| 3.2 线切割有限元模型的建立 | 第27-29页 |
| 3.2.1 单线切割几何模型 | 第27-28页 |
| 3.2.2 多线切割几何模型 | 第28页 |
| 3.2.3 定义材料属性 | 第28-29页 |
| 3.3 线切割模型的网格划分 | 第29-31页 |
| 3.3.1 划分网格 | 第29-30页 |
| 3.3.2 网格独立性验证 | 第30-31页 |
| 3.4 线切割的边界条件设置 | 第31-39页 |
| 3.4.1 传热机理 | 第31-33页 |
| 3.4.2 初始条件 | 第33页 |
| 3.4.3 对流换热系数 | 第33-34页 |
| 3.4.4 热流密度及热源模型 | 第34-37页 |
| 3.4.5 热变形边界条件 | 第37-38页 |
| 3.4.6 时间步长的确定 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 单线切割温度的仿真和试验对比 | 第41-61页 |
| 4.1 仿真模型计算结果 | 第41-47页 |
| 4.2 线锯温度试验结果 | 第47-50页 |
| 4.3 试验结果与仿真模型的对比 | 第50-59页 |
| 4.3.1 冷却液分布对模型的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.2 热流密度加载对模型的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.3 有冷却液时的验证 | 第52-55页 |
| 4.3.4 无冷却液时的验证 | 第55-58页 |
| 4.3.5 误差分析 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 多线切割温度场分析 | 第61-73页 |
| 5.1 多线模型温度场分析 | 第61-70页 |
| 5.1.1 切割深度对锯切温度的影响 | 第61-62页 |
| 5.1.2 晶片厚度对温度分布的影响 | 第62页 |
| 5.1.3 工艺参数对温度分布的影响 | 第62-63页 |
| 5.1.4 锯丝供收线对温度分布的影响 | 第63-66页 |
| 5.1.5 锯丝整体磨损对温度分布的影响 | 第66-69页 |
| 5.1.6 材料对温度分布的影响 | 第69-70页 |
| 5.2 本章小结 | 第70-73页 |
| 第6章 多线切割热变形分析 | 第73-89页 |
| 6.1 晶片变形的影响因素 | 第73页 |
| 6.2 热应力计算基本方程及方法 | 第73-76页 |
| 6.2.1 应力分量 | 第73-74页 |
| 6.2.2 热应力的有限元分析列式 | 第74-76页 |
| 6.3 多线切割模型热变形分析 | 第76-86页 |
| 6.3.1 翘曲度计算方法 | 第76-77页 |
| 6.3.2 不同切割深度热变形 | 第77-80页 |
| 6.3.3 锯丝供收线对热变形的影响 | 第80-82页 |
| 6.3.4 锯丝整体磨损对热变形的影响 | 第82-84页 |
| 6.3.5 材料对热变形的影响 | 第84-85页 |
| 6.3.6 仿真与试验热变形结果对比 | 第85-86页 |
| 6.4 本章小结 | 第86-89页 |
| 第7章 主要结论和展望 | 第89-91页 |
| 7.1 主要结论 | 第89-90页 |
| 7.2 展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 致谢 | 第95-97页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第97页 |
