| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 单晶蓝宝石球罩性质及应用 | 第12-13页 |
| 1.3 单晶蓝宝石球罩制造技术研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.1 蓝宝石球罩成型技术 | 第13-14页 |
| 1.3.2 蓝宝石球罩研磨抛光技术 | 第14-17页 |
| 1.3.3 蓝宝石球罩加工存在的问题 | 第17页 |
| 1.4 CVD金刚石厚膜技术 | 第17-18页 |
| 1.5 磁控研磨抛光技术 | 第18-21页 |
| 1.5.1 磁控研磨抛光技术原理及应用 | 第18-20页 |
| 1.5.2 化学镀法制备磁性磨料 | 第20页 |
| 1.5.3 纳米金刚石在化学镀中的应用 | 第20-21页 |
| 1.6 研究意义与研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 CVD金刚石厚膜工具粗研蓝宝石球罩研究 | 第23-34页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 实验器材及检测方法 | 第23-26页 |
| 2.2.1 实验器材 | 第23-24页 |
| 2.2.2 检测方法及设备 | 第24-26页 |
| 2.3 机构运动参数选择 | 第26-30页 |
| 2.4 粗研实验结果 | 第30-33页 |
| 2.4.1 材料去除率 | 第30页 |
| 2.4.2 球度公差 | 第30-31页 |
| 2.4.3 表面形貌 | 第31-32页 |
| 2.4.4 金刚石厚膜磨损情况 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微米金刚石磁性磨料精研蓝宝石球罩研究 | 第34-50页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 研磨工具结构改进 | 第34-42页 |
| 3.2.1 研磨工具模型建立 | 第34-36页 |
| 3.2.2 仿真结果分析与结构改进 | 第36-42页 |
| 3.3 精研实验研究 | 第42-49页 |
| 3.3.1 实验材料、实验设计及检测方法 | 第42-44页 |
| 3.3.2 工艺参数对材料去除率的影响 | 第44-46页 |
| 3.3.3 工艺参数对面粗糙度Sa的影响 | 第46-48页 |
| 3.3.4 参数选择及实验验证 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 纳米金刚石磁性磨料制备及蓝宝石球罩抛光实验研究 | 第50-61页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 化学复合镀法制备纳米金刚石磁性磨料工艺研究 | 第50-57页 |
| 4.2.1 实验设计及检测方法 | 第50-54页 |
| 4.2.2 实验结果分析 | 第54-57页 |
| 4.3 抛光实验 | 第57-60页 |
| 4.3.1 实验安排 | 第57页 |
| 4.3.2 实验结果分析 | 第57-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-64页 |
| 5.1 总结 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第70页 |