| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题研究背景及来源 | 第11-12页 |
| 1.1.1 课题研究背景 | 第11-12页 |
| 1.1.2 课题来源 | 第12页 |
| 1.2 蓝宝石晶体材料特性 | 第12-14页 |
| 1.2.1 蓝宝石晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 蓝宝石晶体物理性质 | 第13-14页 |
| 1.2.3 蓝宝石晶体各项异性 | 第14页 |
| 1.3 蓝宝石加工技术国内外研究现状 | 第14-20页 |
| 1.3.1 蓝宝石晶片的生长 | 第14-15页 |
| 1.3.2 蓝宝石晶片的磨削方法 | 第15页 |
| 1.3.3 蓝宝石晶片研磨抛光方法 | 第15-20页 |
| 1.4 本课题的研究目的及意义 | 第20页 |
| 1.5 超薄蓝宝石晶片高效抛光加工所面临的的难题 | 第20页 |
| 1.6 本课题的研究内容及论文结构安排 | 第20-23页 |
| 第2章 水膜吸附夹持系统界面物理力学分析 | 第23-37页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 水膜吸附夹持系统界面构成 | 第23页 |
| 2.3 表面张力与表面自由能 | 第23-24页 |
| 2.4 表面的润湿性 | 第24-30页 |
| 2.4.1 光滑理想表面的润湿性 | 第24-26页 |
| 2.4.2 考虑接触线附近三相作用的接触角公式 | 第26-27页 |
| 2.4.3 接触角滞后的局部量特征 | 第27-28页 |
| 2.4.4 水滴在粗糙表面上的润湿性分析 | 第28-30页 |
| 2.5 固体和固体接触 | 第30-35页 |
| 2.5.1 实际接触面积和表观接触面积 | 第30-31页 |
| 2.5.2 切向力的影响 | 第31-33页 |
| 2.5.3 固体接触的统计分析 | 第33-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 水膜吸附夹持方法可行性实验研究 | 第37-47页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 实验设计 | 第37页 |
| 3.3 实验材料及设备 | 第37-38页 |
| 3.4 法向吸附能力实验及结果分析 | 第38-41页 |
| 3.4.1 法向吸附能力实验 | 第38-39页 |
| 3.4.2 法向吸附能力实验结果分析 | 第39-41页 |
| 3.5 切向吸附能力实验及结果分析 | 第41-44页 |
| 3.5.1 切向吸附能力实验 | 第41-42页 |
| 3.5.2 切向吸附能力实验结果分析 | 第42-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-47页 |
| 第4章 限位环的相关工艺参数研究 | 第47-61页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 有限元理论基础 | 第47-50页 |
| 4.2.1 有限元分析软件ANSYS简介 | 第47-48页 |
| 4.2.2 最小势能原理 | 第48页 |
| 4.2.3 二维轴对称有限元理论 | 第48-50页 |
| 4.3 限位环工艺参数的有限元分析 | 第50-54页 |
| 4.3.1 蓝宝石晶片运动分析 | 第50-52页 |
| 4.3.2 模型所用参数 | 第52-53页 |
| 4.3.3 模型的边界条件 | 第53页 |
| 4.3.4 网格划分 | 第53-54页 |
| 4.4 仿真结果分析 | 第54-58页 |
| 4.4.1 工件表面接触应力分布规律 | 第54页 |
| 4.4.2 工件下压载荷P_1对接触应力分布的影响 | 第54-55页 |
| 4.4.3 限位环相关参数对接触应力分布的影响 | 第55-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-61页 |
| 第5章 超薄蓝宝石晶片水膜吸附夹持抛光实验研究 | 第61-71页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 实验设备和材料 | 第61-62页 |
| 5.3 跑片实验 | 第62-64页 |
| 5.3.1 实验参数的确定 | 第62-63页 |
| 5.3.2 实验结果及分析 | 第63-64页 |
| 5.4 超薄蓝宝石晶片水膜吸附夹持抛光加工实验 | 第64-67页 |
| 5.5 基板对超薄蓝宝石晶片抛光的影响 | 第67-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-71页 |
| 第6章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 研究总结 | 第71-72页 |
| 6.2 创新点 | 第72页 |
| 6.3 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第79页 |