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蓝宝石衬底片抛光温度场分析与工艺参数优化的研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第1章 绪论第16-30页
    1.1 课题研究背景第16-22页
        1.1.1 蓝宝石材料应用第16-19页
        1.1.2 化学机械抛光设备工作原理第19-22页
    1.2 抛光区域温度场对抛光加工的影响第22-24页
    1.3 国内外研究现状第24-27页
        1.3.1 抛光温度的研究现状第24-27页
        1.3.2 抛光工艺参数优化实验研究现状第27页
    1.4 研究目的与技术路线第27-28页
        1.4.1 研究目的第27-28页
        1.4.2 技术路线第28页
    1.5 本论文主要内容及章节安排第28-30页
第2章 蓝宝石衬底片抛光温度场仿真研究第30-44页
    2.1 抛光过程中的热作用分析第30-31页
    2.2 有限元建模基础第31-33页
        2.2.1 热传导的基本方式第31-32页
        2.2.2 热传导的微分方程第32-33页
    2.3 蓝宝石衬底温度场基本假设第33页
    2.4 有限元模型的建立第33-36页
        2.4.1 几何模型第33-34页
        2.4.2 材料属性第34-35页
        2.4.3 边界条件第35-36页
    2.5 温度场计算结果与分析第36-42页
        2.5.1 抛光压力对抛光区域温度的影响第39-40页
        2.5.2 抛光转速对抛光区域温度的影响第40-41页
        2.5.3 冰机温度对抛光区域温度的影响第41-42页
    2.6 本章小结第42-44页
第3章 蓝宝石衬底片抛光温度测量系统设计第44-61页
    3.1 测温方法和信号传输方案的确定第44-48页
        3.1.1 测温方法的选择第44-46页
        3.1.2 测温对象和测量方法的确定第46-48页
        3.1.3 信号传输方案的确定第48页
    3.2 蓝宝石衬底片抛光区域温度测量系统设计第48-53页
        3.2.1 测量系统软硬件组成第48-51页
        3.2.2 测量系统硬件的连接与安装第51-52页
        3.2.3 测量系统整体方案第52-53页
    3.3 系统误差分析及减小误差的方法第53-54页
        3.3.1 温度测量系统误差分析第53页
        3.3.2 温度测量系统误差减小的方法第53-54页
    3.4 抛光温度实验第54-60页
        3.4.1 实验结果与仿真结果比较第54-59页
        3.4.2 抛光温度场对抛光质量影响的初步探索实验第59-60页
    3.5 本章小结第60-61页
第4章 蓝宝石衬底片抛光工艺参数优化研究第61-76页
    4.1 单因素参数实验研究第61-66页
        4.1.1 实验设备与材料第61-63页
        4.1.2 抛光压力对材料去除率和表面粗糙度的影响第63-64页
        4.1.3 抛光转速对材料去除率和表面粗糙度的影响第64-65页
        4.1.4 pH对材料去除率和表面粗糙度的影响第65-66页
    4.2 工艺参数优化实验第66-70页
        4.2.1 正交实验设计第66页
        4.2.2 实验方案与结果第66-67页
        4.2.3 极差分析第67-69页
        4.2.4 综合分析第69-70页
    4.3 优化工艺组合实验验证第70-71页
    4.4 全局平整度分析第71-74页
    4.5 本章小结第74-76页
第5章 总结与展望第76-78页
参考文献第78-80页

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