| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第16-22页 |
| 1.1.1 蓝宝石材料应用 | 第16-19页 |
| 1.1.2 化学机械抛光设备工作原理 | 第19-22页 |
| 1.2 抛光区域温度场对抛光加工的影响 | 第22-24页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第24-27页 |
| 1.3.1 抛光温度的研究现状 | 第24-27页 |
| 1.3.2 抛光工艺参数优化实验研究现状 | 第27页 |
| 1.4 研究目的与技术路线 | 第27-28页 |
| 1.4.1 研究目的 | 第27-28页 |
| 1.4.2 技术路线 | 第28页 |
| 1.5 本论文主要内容及章节安排 | 第28-30页 |
| 第2章 蓝宝石衬底片抛光温度场仿真研究 | 第30-44页 |
| 2.1 抛光过程中的热作用分析 | 第30-31页 |
| 2.2 有限元建模基础 | 第31-33页 |
| 2.2.1 热传导的基本方式 | 第31-32页 |
| 2.2.2 热传导的微分方程 | 第32-33页 |
| 2.3 蓝宝石衬底温度场基本假设 | 第33页 |
| 2.4 有限元模型的建立 | 第33-36页 |
| 2.4.1 几何模型 | 第33-34页 |
| 2.4.2 材料属性 | 第34-35页 |
| 2.4.3 边界条件 | 第35-36页 |
| 2.5 温度场计算结果与分析 | 第36-42页 |
| 2.5.1 抛光压力对抛光区域温度的影响 | 第39-40页 |
| 2.5.2 抛光转速对抛光区域温度的影响 | 第40-41页 |
| 2.5.3 冰机温度对抛光区域温度的影响 | 第41-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 蓝宝石衬底片抛光温度测量系统设计 | 第44-61页 |
| 3.1 测温方法和信号传输方案的确定 | 第44-48页 |
| 3.1.1 测温方法的选择 | 第44-46页 |
| 3.1.2 测温对象和测量方法的确定 | 第46-48页 |
| 3.1.3 信号传输方案的确定 | 第48页 |
| 3.2 蓝宝石衬底片抛光区域温度测量系统设计 | 第48-53页 |
| 3.2.1 测量系统软硬件组成 | 第48-51页 |
| 3.2.2 测量系统硬件的连接与安装 | 第51-52页 |
| 3.2.3 测量系统整体方案 | 第52-53页 |
| 3.3 系统误差分析及减小误差的方法 | 第53-54页 |
| 3.3.1 温度测量系统误差分析 | 第53页 |
| 3.3.2 温度测量系统误差减小的方法 | 第53-54页 |
| 3.4 抛光温度实验 | 第54-60页 |
| 3.4.1 实验结果与仿真结果比较 | 第54-59页 |
| 3.4.2 抛光温度场对抛光质量影响的初步探索实验 | 第59-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 蓝宝石衬底片抛光工艺参数优化研究 | 第61-76页 |
| 4.1 单因素参数实验研究 | 第61-66页 |
| 4.1.1 实验设备与材料 | 第61-63页 |
| 4.1.2 抛光压力对材料去除率和表面粗糙度的影响 | 第63-64页 |
| 4.1.3 抛光转速对材料去除率和表面粗糙度的影响 | 第64-65页 |
| 4.1.4 pH对材料去除率和表面粗糙度的影响 | 第65-66页 |
| 4.2 工艺参数优化实验 | 第66-70页 |
| 4.2.1 正交实验设计 | 第66页 |
| 4.2.2 实验方案与结果 | 第66-67页 |
| 4.2.3 极差分析 | 第67-69页 |
| 4.2.4 综合分析 | 第69-70页 |
| 4.3 优化工艺组合实验验证 | 第70-71页 |
| 4.4 全局平整度分析 | 第71-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
