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纳米SiO2浆料中半导体硅片的化学机械抛光及其应用研究
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AZ31B镁合金CO2气体激光表面改性的组织和性能研究
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高效率磁流变抛光技术的研究与应用
基于葵花籽粒结构的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究
钢铁抛光件高效电磁分选装置的研发及应用
铝合金化学加速振动抛光试验及其理论研究
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黄铜线和紫铜线的化学抛光新工艺
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IC制程Cu抛光液实验研究
水基抛光材料去除机理的微观试验研究
磁力驱动下的化学机械光整加工技术研究
KDP逐点可控微纳溶解拋光理论仿真及试验研究
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