化学机械抛光用抛光垫修整器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-25页 |
| ·论文选题背景 | 第8-12页 |
| ·化学机械抛光技术的发展与应用 | 第8-10页 |
| ·抛光垫修整的意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究概况及发展趋势 | 第12-24页 |
| ·抛光垫的常用修整方法 | 第12页 |
| ·金刚石修整器种类及其应用现状 | 第12-18页 |
| ·修整器参数与修整工艺参数研究 | 第18-22页 |
| ·化学机械抛光的理论模型 | 第22-24页 |
| ·研究内容和方法 | 第24-25页 |
| ·课题来源 | 第24页 |
| ·研究内容要解决的问题 | 第24页 |
| ·预期达到的成果和水平 | 第24-25页 |
| 2 抛光垫修整去除率模型的研究 | 第25-33页 |
| ·基本假设 | 第25页 |
| ·赫兹接触理论 | 第25-28页 |
| ·塑性材料的研磨 | 第28-29页 |
| ·抛光垫的修整去除率模型 | 第29-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 3 抛光垫修整去除率模型验证试验 | 第33-42页 |
| ·实验设备及规划 | 第33-39页 |
| ·试验规划 | 第33-34页 |
| ·试验设备 | 第34-35页 |
| ·试验材料 | 第35-36页 |
| ·试验方法 | 第36-39页 |
| ·试验结果及分析 | 第39-41页 |
| ·金刚石颗粒尺寸对修整去除率的影响 | 第39-40页 |
| ·金刚石带宽度对修整去除率的影响 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 4 抛光垫修整器制造工艺 | 第42-60页 |
| ·金刚石修整器设计 | 第42-46页 |
| ·修整器设计需要考虑的几个关键因素 | 第42-44页 |
| ·新型电镀金刚石修整器设计思想 | 第44-46页 |
| ·电镀修整器制造工艺 | 第46-56页 |
| ·电镀工艺条件 | 第46-48页 |
| ·电镀修整器的结构设计 | 第48-49页 |
| ·磨料成簇排布电镀修整器的工艺试验 | 第49-56页 |
| ·电镀修整器性能的分析 | 第56-59页 |
| ·修整器表面形貌观测 | 第56-57页 |
| ·抛光垫修整试验分析 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 5 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60页 |
| ·未来展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
