CVD金刚石膜化学机械抛光工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第8-13页 |
| ·金刚石的结构、性质 | 第13-14页 |
| ·金刚石的结构 | 第13-14页 |
| ·金刚石的性质 | 第14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-19页 |
| ·CVD金刚石膜的生长制备 | 第14-16页 |
| ·CVD金刚石膜的抛光方法 | 第16-19页 |
| ·课题来源、学术思想和预期达到的效果 | 第19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 CVD金刚石膜化学机械抛光试验设备及方案 | 第20-35页 |
| ·试验材料及设备 | 第20-26页 |
| ·试验材料 | 第20-21页 |
| ·试验设备 | 第21-25页 |
| ·CVD金刚石膜的粘结方案 | 第25-26页 |
| ·CVD金刚石膜的机械研磨 | 第26-30页 |
| ·机械研磨试验 | 第27页 |
| ·机械研磨结果分析 | 第27-30页 |
| ·CVD金刚石膜的化学机械抛光 | 第30-34页 |
| ·化学机械抛光试验 | 第30-32页 |
| ·化学机械抛光结果分析 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 CVD金刚石膜抛光液优化试验 | 第35-45页 |
| ·氧化剂的优化选择 | 第35-42页 |
| ·氧化剂选择的理论依据 | 第35-37页 |
| ·氧化剂选择试验 | 第37-42页 |
| ·氧化剂浓度的确定 | 第42-44页 |
| ·试验条件与安排 | 第42页 |
| ·试验结果与分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 CVD金刚石膜化学机械抛光工艺试验 | 第45-52页 |
| ·抛光工艺参数的影响 | 第45-51页 |
| ·试验条件与安排 | 第46页 |
| ·试验结果与分析 | 第46-51页 |
| ·本章小节 | 第51-52页 |
| 5 化学机械抛光摩擦力的测量 | 第52-71页 |
| ·化学机械抛光摩擦力测量方法的确定 | 第52-55页 |
| ·化学机械抛光摩擦力测量方法概述 | 第52-54页 |
| ·CVD金刚石膜化学机械抛光中摩擦力测量方法确定 | 第54-55页 |
| ·CVD金刚石膜化学机械抛光摩擦力测量原理及装置 | 第55-62页 |
| ·摩擦力测量原理 | 第55-58页 |
| ·摩擦力测量装置硬件构成 | 第58-61页 |
| ·电阻应变片的粘贴 | 第61-62页 |
| ·摩擦力测量装置的标定及误差分析 | 第62-64页 |
| ·摩擦力测量装置的静态标定 | 第62-63页 |
| ·摩擦力测量装置的误差分析 | 第63-64页 |
| ·摩擦力测量试验 | 第64-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
