磁力驱动下的化学机械光整加工技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·研究背景和研究意义	第8-9页
·研究背景	第8-9页
·研究意义	第9页
·国内外研究现状及存在问题	第9-14页
·化学抛光的研究现状及存在问题	第9-12页
·磁粒光整加工技术的国内外研究现状及存在问题	第12-14页
·研究思路及主要工作	第14-15页
·研究思路	第14页
·主要工作	第14-15页
2 磁粒光整加工工艺和化学抛光工艺研究	第15-34页
·磁粒光整加工工艺研究	第15-26页
·磁场中磨料的受力分析	第15-21页
·磁性研磨刷的受力	第21页
·磁力光整加工的机理	第21-24页
·磁力光整加工工艺的特点	第24-25页
·磁性磨粒的自砺	第25页
·干研与湿研	第25-26页
·传统的三酸抛光工艺研究	第26-34页
·三酸化学抛光机理	第26-27页
·三酸抛光液中各成分的主要作用	第27-30页
·常见的三酸抛光液配方	第30-31页
·影响三酸抛光质量的因素	第31-32页
·三酸抛光存在问题	第32-34页
3 装置设计及加工过程分析研究	第34-44页
·装置介绍	第34-36页
·装置原理简介	第35页
·装置中各零部件的作用	第35-36页
·操作注意事项	第36页
·机理分析	第36-40页
·验证实验	第40-42页
·工艺特点	第42页
·存在缺陷	第42-44页
4 环保型化学抛光液研究	第44-55页
·抛光液制备方法及研究过程	第44-45页
·化学试剂及所需材料设备	第44-45页
·研究方法和步骤	第45页
·抛光后试片的评价指标	第45页
·抛光液和抛光条件对抛光质量的影响规律	第45-53页
·抛光液中三种主要成分对抛光质量的影响	第45-50页
·抛光条件对抛光质量的影响	第50-53页
·推荐加工方案	第53-54页
·本章小结	第54-55页
结论	第55-56页
参考文献	第56-58页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第58-59页
致谢	第59-60页