| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·研究背景 | 第12页 |
| ·超精密平面抛光技术概论 | 第12-17页 |
| ·超精密加工的定义 | 第12-13页 |
| ·化学机械抛光机理 | 第13-14页 |
| ·影响化学机械抛光的因素 | 第14-17页 |
| ·超精密平面CMP抛光研究现状 | 第17-21页 |
| ·CMP抛光技术研究现状 | 第17-19页 |
| ·超精密平面抛光装备研究现状 | 第19-21页 |
| ·存在问题 | 第21-22页 |
| ·主要研究内容与课题来源 | 第22-24页 |
| ·主要研究内容及课题来源 | 第22页 |
| ·论文体系结构及各章简介 | 第22-24页 |
| 第二章 超精密双面抛光机虚拟仿真研究策略 | 第24-34页 |
| ·虚拟样机技术概论 | 第24-26页 |
| ·虚拟样机的定义 | 第24页 |
| ·虚拟样机的技术特点 | 第24-25页 |
| ·虚拟样机技术应用现状 | 第25-26页 |
| ·PE-1型超精密双面抛光机简介 | 第26-30页 |
| ·双面抛光机结构介绍 | 第26-29页 |
| ·抛光过程及原理 | 第29-30页 |
| ·技术特点 | 第30页 |
| ·双面抛光机虚拟仿真研究策略 | 第30-33页 |
| ·研究的理论假设 | 第30-31页 |
| ·研究的软件支撑平台 | 第31-33页 |
| ·技术路线 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 抛光机构物理模型分析与虚拟样机建构 | 第34-50页 |
| ·抛光机构动力学分析及数学模型建立 | 第34-39页 |
| ·行星轮系与工件的运动分析 | 第34-36页 |
| ·工件受力分析 | 第36页 |
| ·工件动力学模型的建立 | 第36-39页 |
| ·抛光机构的分析与简化 | 第39-40页 |
| ·抛光机构的简化 | 第39页 |
| ·抛光机构的自由度计算 | 第39-40页 |
| ·抛光机构实体建模实现 | 第40-42页 |
| ·三维实体建模与装配过程 | 第40-42页 |
| ·三维模型的导出 | 第42页 |
| ·抛光机构虚拟样机的建立 | 第42-49页 |
| ·虚拟样机建模仿真的基本步骤 | 第42-44页 |
| ·三维实体模型的导入与修正 | 第44-45页 |
| ·双面抛光机虚拟样机的定义 | 第45-48页 |
| ·虚拟样机建模检查 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 抛光机构样机模型验证与动态仿真分析 | 第50-64页 |
| ·仿真分析前的准备工作 | 第50页 |
| ·抛光机构样机模型的验证技术 | 第50-54页 |
| ·定性分析验证 | 第50-51页 |
| ·定量分析验证 | 第51-54页 |
| ·虚拟样机模型完善 | 第54-56页 |
| ·行星轮系输入转速与工件运动特性的仿真研究 | 第56-59页 |
| ·仿真试验方案 | 第56-57页 |
| ·输入转速与工件角速度关系的仿真研究 | 第57-59页 |
| ·仿真结果分析 | 第59页 |
| ·工件表面各点运动的仿真研究 | 第59-61页 |
| ·仿真试验方案 | 第59-60页 |
| ·表面各点运动关系的仿真研究 | 第60-61页 |
| ·仿真结果分析 | 第61页 |
| ·虚拟样机参数化设计 | 第61-63页 |
| ·参数化设计概论 | 第61-62页 |
| ·抛光工艺输入变量的参数化 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 抛光工艺参数的优化仿真研究 | 第64-79页 |
| ·双面抛光机工艺参数优化评价指标的提出 | 第64-65页 |
| ·基于Preston模型的双面抛光机去除率模型分析 | 第65-67页 |
| ·抛光去除率模型简介 | 第65-66页 |
| ·抛光去除量的建模与分析 | 第66-67页 |
| ·工件运动轨迹的仿真分析 | 第67-69页 |
| ·运动轨迹与材料去除的均匀性 | 第67页 |
| ·工件运动轨迹仿真分析 | 第67-69页 |
| ·抛光工艺参数的优化仿真研究 | 第69-75页 |
| ·基于抛光去除率与去除均匀性的优化设计策略 | 第69-70页 |
| ·工艺参数的优化仿真 | 第70-75页 |
| ·优化仿真结论 | 第75页 |
| ·工艺参数优化的应用实例 | 第75-78页 |
| ·抛光试验方案 | 第75-76页 |
| ·抛光质量检测方法 | 第76-77页 |
| ·试验结论 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-83页 |
| ·本论文工作总结 | 第79-81页 |
| ·有待进一步解决的关键技术问题 | 第81-82页 |
| ·研究展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |