软脆晶体碲锌镉超精密磨抛的试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9-11页 |
| ·CZT晶体的研究现状 | 第11-14页 |
| ·CZT晶体的特性 | 第11-12页 |
| ·CZT晶体的生长制备研究现状 | 第12-13页 |
| ·CZT晶体的加工现状 | 第13-14页 |
| ·超精密磨削与无磨料化学机械抛光的研究进展 | 第14-15页 |
| ·超精密磨削技术的研究 | 第14页 |
| ·无磨料化学机械抛光技术研究 | 第14-15页 |
| ·课题的研究目的与重要意义 | 第15-16页 |
| ·课题的来源及本文的研究内容 | 第16-17页 |
| ·课题的来源 | 第16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 CZT晶体纳米尺度可加工性的研究 | 第17-27页 |
| ·纳米划痕测量技术 | 第17-19页 |
| ·概述 | 第17页 |
| ·纳米划痕的测量原理 | 第17-19页 |
| ·试验条件 | 第19-20页 |
| ·试验结果与讨论 | 第20-26页 |
| ·纳米划痕与原位AFM表征 | 第20-24页 |
| ·摩擦系数 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 CZT晶体超精密磨削材料去除机理研究 | 第27-39页 |
| ·脆性材料去除模式的研究 | 第27-31页 |
| ·脆性材料去除机理 | 第27-29页 |
| ·材料摩擦磨损的特征 | 第29-31页 |
| ·试验条件 | 第31-33页 |
| ·试验结果与讨论 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 4 CZT晶体超精密加工的表面损伤研究 | 第39-50页 |
| ·表面损伤检测与分析 | 第39页 |
| ·线切割后CZT晶体的表面损伤 | 第39-40页 |
| ·精密磨削后CZT晶体的表面损伤检测 | 第40-46页 |
| ·#800金刚石砂轮磨削后CZT晶体的表面损伤 | 第41-42页 |
| ·#1500金刚石砂轮磨削后CZT晶体的表面损伤 | 第42-43页 |
| ·#3000金刚石砂轮磨削后CZT晶体的表面损伤 | 第43-44页 |
| ·#5000金刚石砂轮磨削后CZT晶体的表面损伤 | 第44-46页 |
| ·化学机械抛光后CZT晶体的表面损伤 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 CZT晶体无磨料化学机械抛光工艺研究 | 第50-71页 |
| ·无磨料化学机械抛光的原理与特点 | 第50-51页 |
| ·抛光垫的选择 | 第51-58页 |
| ·试验条件与方法 | 第51-53页 |
| ·试验结果与讨论 | 第53-58页 |
| ·抛光液中氧化剂的选择 | 第58-66页 |
| ·试验条件与方法 | 第59页 |
| ·不同氧化剂对CZT晶体静态腐蚀率的影响 | 第59-66页 |
| ·无磨料化学机械抛光的工艺试验 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
