| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| ·本课题研究的背景 | 第11-13页 |
| ·国内外相关研究现状 | 第13-19页 |
| ·关于抛光垫材料种类及性能的研究 | 第13-17页 |
| ·关于抛光液流场的研究 | 第17-19页 |
| ·关于材料去除机理的研究 | 第19页 |
| ·本课题研究的意义与来源 | 第19-20页 |
| ·课题研究的意义 | 第20页 |
| ·课题的来源 | 第20页 |
| ·本课题研究的内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第2章 叶序理论及生物葵花盘模型的建立 | 第22-32页 |
| ·叶序理论 | 第23页 |
| ·叶序在植物中存在的理由 | 第23-24页 |
| ·葵花籽粒的叶序模型 | 第24-26页 |
| ·仿生结构表面抛光垫的三维模型建立 | 第26-27页 |
| ·叶序结构的平面模型 | 第27-29页 |
| ·不同的角度α对应的籽粒排列方式 | 第27-28页 |
| ·不同的叶序参数κ对应的籽粒排列方式 | 第28页 |
| ·不同的葵花籽粒半径R_0对应的籽粒排列方式 | 第28-29页 |
| ·基于葵花籽粒结构仿生抛光垫的三维模型建立 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 固结磨料仿生抛光垫的制备 | 第32-45页 |
| ·固结磨料抛光垫的概述 | 第32-33页 |
| ·固结磨料向日葵仿生抛光垫的形貌 | 第33-34页 |
| ·丝网印刷的概述 | 第34-35页 |
| ·印制抛光垫中的网版 | 第35-36页 |
| ·印制抛光垫中的刮板 | 第36-38页 |
| ·刮板简介 | 第36-37页 |
| ·刮板在印刷中角度的确定 | 第37-38页 |
| ·印制抛光垫中的网距 | 第38-39页 |
| ·制备固结磨料仿生抛光垫的材料 | 第39-41页 |
| ·印制抛光垫的聚氨酯 | 第39-40页 |
| ·印制抛光垫的磨料 | 第40-41页 |
| ·印制固结磨料仿生抛光垫 | 第41-42页 |
| ·丝网印刷工艺过程 | 第42页 |
| ·固结磨料仿生抛光垫的实物 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于叶序抛光垫的化学机械抛光的抛光液流场分析 | 第45-65页 |
| ·液-固两相流概述 | 第45-46页 |
| ·抛光液的两相流模型 | 第46页 |
| ·液-固两相流的基本方程 | 第46-47页 |
| ·液-固两相流的基本假设 | 第46页 |
| ·液-固两相流的基本方程 | 第46-47页 |
| ·CFD方法和FLUENT软件简介 | 第47-50页 |
| ·计算流体力学CFD概述 | 第47-48页 |
| ·FLUENT软件简介 | 第48-50页 |
| ·化学机械抛光流体润滑效应理论的建立 | 第50-56页 |
| ·润滑原理的的简介 | 第50-51页 |
| ·化学机械抛光抛光液流场运动方程的推导 | 第51-56页 |
| ·化学机械抛光过程中的抛光液流动状态的数值模拟 | 第56-63页 |
| ·计算域及网格的生成 | 第56-57页 |
| ·计算域的边界条件 | 第57-58页 |
| ·叶序参数及籽粒直径对抛液流动状态的影响 | 第58-59页 |
| ·抛光垫转速对抛光液流动状态的影响 | 第59-60页 |
| ·工件转速对抛光液流动状态的影响 | 第60-61页 |
| ·抛光液的流层状态 | 第61-62页 |
| ·抛光液流场的等值线图 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第5章 基于仿生抛光垫下化学机械抛光的实验研究 | 第65-80页 |
| ·实验装置与实验材料 | 第65-67页 |
| ·实验装置 | 第65-66页 |
| ·实验材料 | 第66-67页 |
| ·摆式研磨抛光机的调试 | 第67页 |
| ·实验工艺 | 第67-68页 |
| ·抛光后硅片表面的处理 | 第68页 |
| ·关于材料去除率的实验研究 | 第68-74页 |
| ·抛光垫参数对材料去除率的影响 | 第70-71页 |
| ·抛光盘转速对材料去除率的影响 | 第71-72页 |
| ·抛光液流量对材料去除率的影响 | 第72-73页 |
| ·压力对材料去除率的影响 | 第73-74页 |
| ·不同抛光盘转速下抛光液流动状态的监测 | 第74-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 结论与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |