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薄膜物理学
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磁控溅射金属掺杂的ZnO:Li薄膜的制备及其特性研究
反应磁控溅射金属掺杂Cu3N薄膜的制备及其特性研究
相移显微干涉技术测量薄膜应力梯度方法研究
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多孔二氧化硅减反射薄膜的制备与特性分析
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